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高党忠 《工程物理研究院科技年报》2009,(1):9-10
惯性约束聚变(ICF)物理实验研究中,10-100μm厚度的Al,Cu等白支撑金属薄膜是常用的靶材料,由于薄膜厚度及其分布与冲击波速度、压强等物理实验结果直接相关,因此需要对其厚度进行精确的测量。长期以来,对薄膜样品厚度的测量主要采用传统的单面定位测量法,但由于薄膜一基底之间的定位误差,薄膜厚度的精密测量存在难以克服的技术难题。 相似文献
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X射线荧光光谱法对聚变靶丸保气半寿命的测量 总被引:1,自引:0,他引:1
建立了非破坏性测量单个聚变靶丸保气半寿命的方法,测量的相对不确定度约为10%.利用X射线荧光(XRF)光谱仪测量不同时刻靶丸内气体的相对含量,根据气体泄漏规律计算其漏率,从而计算出靶丸的保气半寿命.由于110 ℃时的靶丸保氩半寿命与常温下靶丸保氘半寿命相关,因此分别测量了塑料聚变靶丸在常温及100 ℃时对氩气的保气半寿命;常温下塑料靶丸的保氩半寿命达数千小时,而100 ℃时塑料靶丸的保氩半寿命仅数十小时.考察了仪器的稳定性以及样品纵向位置z对谱线强度的影响.由于采用了样品位置精确定位技术,因此测量不确定度主要来源于仪器的稳定性.该技术因其无损、快速和简单而作为靶丸质量控制工具,用以淘汰漏率快于建立的标准设定值.XRF光谱法为惯性约束聚变实验用靶提供了一一对应的保气半寿命参数,使聚变实验结果得到明显改善. 相似文献
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采用超精密车削技术加工微尺度正弦波调制曲面微结构,解决了尖刃金刚石刀具刃磨和刀具对中等关键技术,研究了进给量、背吃刀量和主轴转速等主要切削参数对铜模板表面粗糙度的影响规律。加工出波长为(20~150)m0.5 m﹑峰谷高度差为(0.2~20)m0.1 m的带正弦波调制曲面。采用原子力显微镜对模板表面轮廓扫描,在20 m20 m的范围内,其表面粗糙度均方根值小于10 nm。将正弦波调制曲面测量结果与理论轮廓进行比较,采用最小二乘寻优算法评定轮廓误差。完成了曲面轮廓的功率谱表征,利用加工的曲面微结构制备了平面调制靶,实现正弦波调制曲面轮廓的精确转移。 相似文献
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采用超精密车削技术加工微尺度正弦波调制曲面微结构,解决了尖刃金刚石刀具刃磨和刀具对中等关键技术,研究了进给量、背吃刀量和主轴转速等主要切削参数对铜模板表面粗糙度的影响规律。加工出波长为(20~150)m0.5 m﹑峰谷高度差为(0.2~20)m0.1 m的带正弦波调制曲面。采用原子力显微镜对模板表面轮廓扫描,在20 m20 m的范围内,其表面粗糙度均方根值小于10 nm。将正弦波调制曲面测量结果与理论轮廓进行比较,采用最小二乘寻优算法评定轮廓误差。完成了曲面轮廓的功率谱表征,利用加工的曲面微结构制备了平面调制靶,实现正弦波调制曲面轮廓的精确转移。
相似文献10.