一个新型的高频金属离子源

本文介绍了一个新型结构的高频离子源,它可以用气体、液体和固体物质工作.这一源的工作温度达到了1000℃.因此,它可以产生包括金属在内的多种元素的离子束.目前,已经引出了Al~+、Mg~+、Fe~+、Cr~+、Zn~+、In~+、Ag~+、Cd~+、Sn~+、Sm~+、Hg~+、S~+ P~+、As~+、Se~+、Te~+等离子束,总流强度在几百微安到毫安级,总流中所需离子含量是70—90%,源的工作寿命在40小时到100小时以上.本文主要讨论了这一离子源的结构和工作特性.