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双频容性耦合等离子体相分辨发射光谱诊断   总被引:1,自引:1,他引:0       下载免费PDF全文
采用相分辨发射光谱法, 对双频容性耦合纯Ar和不同含O2量的Ar-O2混合气体放电等离子体的鞘层激发模式进行了探究. 在射频耦合电源上极板的鞘层区域处观察到两种电子激发模式: 鞘层扩张引起的电子碰撞激发模式和二次电子引起的电子碰撞激发模式; 并发现这两种激发模式均受到低频射频电源周期的调制. 在纯Ar放电等离子体中, 两种激发模式的激发轮廓相似; 而在Ar-O2混合气放电等离子体中, 随着含O2量的增加, 二次电子的激发轮廓变弱. 此外, 利用相分辨发射光谱法对不同含O2量的Ar-O2混合气放电下Ar的 750.4 nm谱线的平均低频电源周期轴向分布进行了研究, 得到了距耦合电源上极板约3.8 mm处为双频容性耦合射频等离子体的鞘层边界. 关键词: 双频容性耦合等离子体 等离子体鞘层 发射光谱  相似文献   
2.
开展了大气压射频(RF)等离子体化学气相沉积(PCVD)TiO2放电体系的发射光谱诊断研究, 分别考察了氧气分压、钛酸四异丙酯(TTIP)分压和输入功率对氧原子谱线相对强度、氩原子激发温度、OH振动温度以及转动温度的影响. 结果表明: 随着氧气分压的增加, 氧原子谱线相对强度先迅速增加至峰值后缓慢下降, OH振动温度缓慢增加, 而氩原子激发温度和OH转动温度基本不变. 随着TTIP 分压的增加, 氧原子谱线相对强度下降, 氩原子激发温度没有明显变化, 而OH振动温度和转动温度增加. 随着输入功率的增加, 氧原子谱线相对强度下降, 氩原子激发温度、OH振动温度和转动温度升高.  相似文献   
3.
自发裂变和α衰变是影响超重核稳定性的两个主要因素。为了探索270Ds附近的长寿命的超重核,系统地计算了电荷数在104 ≤ Z ≤ 112范围内的α衰变与自发裂变之间的竞争。采用推广的液滴模型和唯象的解析公式计算了α衰变半衰期。基于包括壳效应和同位旋效应的WKB近似方法估算了相同超重核的自发裂变半衰期,进而预测了未知超重核274-276,279Cn与267-269Ds的衰变模式。The stability of superheavy nuclei (SHN) is controlled mainly by spontaneous fission and α decay processes. To investigate whether long lived SHN could really exist around 270Ds, the competition between α decay and spontaneous fission in the region 104 ≤ Z ≤ 112 are studied systematically. The α decay half-lives are investigated by employing a generalized liquid drop model (GLDM) and phenomenological analytical formula. Calculations of spontaneous fission half-lives for the same SHN are carried out based on the Wenzel-Kramers-Brillouin(WKB) approximation with both the shell effect and the isospin effect included. Decay modes are predicted for the unknown nuclei 274-276,279Cn and 267-269Ds.  相似文献   
4.
近年来,关于汞的污染控制问题越来越引起人们的重视,早期学者也对此做出了积极探索,关于汞的动力学模型的构建逐步完善,取得了与实验符合较好的结果。由于动力学参数的获得极其困难,直到量子化学的引入才有所改观。反应动力学参数的精确掌握对准确描述汞元素在燃烧中的迁移规律有重要作用,并且可以为实践提供切实可依据的参考。本文在前人的研究基础上,结合量子化学软件对部分基元反应的动力学参数重新进行了详细的分析计算,加入了逆反应方向的动力学参数并在新的动力学参数下对汞的迁移规律做出了分析,与先前学者的研究结果比较,取得了较为满意的结果。  相似文献   
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