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为改善气体传感器性能,通过器件优化设计获得了一种应用于气体传感器的具有低损耗、高品质因子(Q)的单模式两端对声表面波(SAW)谐振器。该谐振器由两个换能器、分置于换能器两边的短路栅反射器以及在换能器之间分布的用于敏感膜镀膜的约2.5mm金属薄层构成。谐振器采用铝/金双层电极以降低测试气体环境的腐蚀影响。利用经典耦合模(COM)理论对器件性能进行了仿真以提取优化的结构设计参数。基于仿真结果,实验研制了基于300MHz频率的新型铝/金电极SAW两端对谐振器,测试结果显示所研制器件具有较低损耗(〈7dB),较高Q值(-3000)以及单一谐振模式的特点,并且,以所研制的新型谐振器为频率控制单元的谐振器型振荡器表现出良好的频率稳定度(t15Hz/h),这对于改善气体传感器的检测下限及稳定性等性能指标具有重要意义。 相似文献
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科学进步离不开科研仪器技术的发展, 科研仪器自主研制已成为我国促进技术创新的强劲动力和人才培养的重要平台. 飞船发射、航母制造、北斗导航等高科技重大突破离不开我国自行研制的高端科研仪器, 科技创新已成为当今各国提高综合国力的战略支撑. 每年我国对科研仪器的市场需求很大, 但进口仪器占比70%, 部分高端仪器更是100%依赖进口. 由于高、精、尖科研仪器的核心技术、关键零部件被国外封锁, 导致我国研发的高端科研仪器丧失国际竞争力. 针对上述现象, 通过对国产科研仪器目前现状分析, 就如何加强国家创新引导力来加快推进国产科研仪器高质量发展, 从而提升在国际市场的竞争力, 最终实现"进口替代"进行探讨. 相似文献
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