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本文简要地介绍了用于光学车间检验的偏振小孔球面干涉仪光学原理、功能及特点等。  相似文献   
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光学薄膜的宽带膜厚监控装置   总被引:1,自引:0,他引:1  
装置是由配有微机的快速扫描分光光度计组成,在镀膜时不断测量膜层的光谱透射率曲线以监控膜厚,并作了监控三层膜的试验。 装置的性能:测量波长宽度333nm;波长点数:50点;透射率精度:±1%;光谱透射率扫描速度:12c/s。  相似文献   
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