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1.
利用带折射修正的布喇格衍射定律和薄膜光学理论分析了低角X射线衍射谱中出现的一系列现象,导出了多层膜周期厚度和周期中不同材料间的配比率的计算公式,对多层膜的低角X射线衍射谱中主峰间的次峰现象作出了解释,并对低角X射线衍射测量单层膜厚度进行分析,给出了精确的测厚公式。
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2.
利用平面磁控溅射技术,制备了W/C超薄多层膜样品。低角X射线衍射测试、透射电子显微镜显微剖面分析给出了该样品的结构参数,由这些结构参数模拟给出的光学特性与实测的4.47nm的绝对反射率角谱有较一致的表现。
关键词:
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3.
在矩形光栅上镀制软X射线多层膜,得到多层膜光栅组合式结构。报道用CuKα线小角度对多层膜光栅的衍射特性研究结果。用X射线运动学理论进行了理论分析,得到两个衍射条件,分别对应于决定衍射角的光栅方程和决定多层膜峰值的布拉格定理,发现光栅级效率受多层膜反射调制。对镜面反射扫描、样品扫描、探测器扫描不同情况下各衍射峰峰位和强度的实验值和理论进行了比较,两者符合得很好。
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4.
简要叙述软x射线多层膜位相光栅的理论设计、实验制备,详细给出了在北京同步辐射装置3B1束线上对多层膜位相光栅衍射效率的测试,以及对测试结果的分析,并与理论值进行了比较.
关键词:
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5.
详细给出了软X光多层膜位相型矩形光栅的实验,分析测试结果以及在北京国家同步辐射实验室测得的光学衍射特性,并进行了分析。
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6.
介绍了软件X射线多层膜分束镜的制备,采用蚀基底法和氯化钠脱膜分离法制备且获得了大面积的Mo/Si多层膜分束镜。
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7.
在矩形不栅上镀制软X射线多层膜,得到了多层膜光栅组合式结构,报道用CuKa线小角度对多层膜光栅的衍射特性研究结果。用X射线运动学理论进行了分析,得到两个衍射条件,分别对应决定衍射角的光栅方程和决定多层膜峰值的布拉格定理,发现光栅级效率受多层膜反射调制。
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