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真空系统返油是使用有油真空抽气机组一直存在的问题.返油来源于真空机械泵的密封油及真空油扩散泵的工作泵油.返油直接影响真空泵的极限真空和真空系统的污染程度.近年来由于工业生产和研究部门要求真空泵返油率极低和真空系统的超净.这一问题就显得更为突出了. 由于真空油扩散泵价廉,使用也方便.已成为大量使用的获得真空的为设备,而返油率是它重要的性能指标之一.英国、联邦德国、美国和日本都有测量标准,但这些标准都只对测量高返油率适用.目前真空油扩散泵制造已向低返油率方向突进,低返油率的测量已成为需要解决的问题。例如,英国Edw… 相似文献
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