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1.
亚微米尺寸元件的离子束刻蚀制作   总被引:3,自引:3,他引:0  
采用软光刻技术中的微接触印刷(μCP)技术、表面诱导的水蒸气冷凝、表面诱导的去湿行为,在金基底上制作出了亚微米的环状周期结构聚合物掩膜.通过对离子束刻蚀过程中各个参量对刻蚀元件的表面光洁度、轮廓保真度和线宽分辨的影响分析,结合掩膜的实际情况选择出了合适的离子束入射角、离子能量、束流密度和刻蚀时间等参量.依照这些参量刻蚀出了高质量的亚微米尺寸环状周期结构元件.通过对刻蚀出的元件的检测发现,刻出的元件表面光洁度、轮廓保真度和侧壁陡峭度都非常好.  相似文献   
2.
红外折射/衍射超常温光学系统   总被引:19,自引:13,他引:6  
设计了折射/衍射混合减热差红外光学系统,仅使用硅和锗两种材料.设计结果表明,此系统具有良好的减热差和校色差作用,在-80~200℃温度范围内不仅得到接近衍射极限的成像质量,而且结构简单,体积小,重量轻.  相似文献   
3.
递推法若干例王吉增,吴淑英(白城师专电教室,吉林白城137000)一般教材上都有这样一道题:无限长“格子”电路如图1所示,若每个电阻均为R,试求端口AB的等效电阻。答案是。计算过这道题的人,一般都想探讨一下该网络为有限长时,其端口AB的等效电阻R_n...  相似文献   
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