类金刚石薄膜的制备、特性及应用

利用射频等离子分裂碳氢气体制备的类金刚石膜,具有硬度高、耐蚀和良好的透红外光等特性.本文研究了类金刚石膜的红外、机械、结构及电学特性,给出该膜应用于红外装置中镀膜元件的光谱性能.并结合文中所用的制备方法,讨论了类金刚石膜在低温低压下的形成机制.     

红外减反射膜热处理条件和机理研究

本文采用在不同气氛中加热处理红外减反射膜的方法,研究了氟化物薄膜的水吸收峰和氧化物吸收峰对光学性能的影响。并讨论了机理和热处理的条件。     

红外探测器窗口和光学镜头镀膜技术

红外探测器问世以来,为配合窗口和透镜的制备。红外波段镀增透膜技术得到了蓬勃发展.红外波段应用的大多数材料是Ge,Si,PdTc,ZnSe和各种红外玻璃.这些材料折射率高反射损失大.举Ge片为例。其ns=4,表面反射损失Ra=36%,与常用冤牌玻璃(n=l.52 Ra=4.2%)相比,约高十倍.这种表面反射损失降低了透射率和增加了光学系统杂散光的影响.在光学系统中,当光学零件增多时。上述影响特别严重.但是在零件表面镀增透膜后就可克服上述缺点.图1给出锗和玻璃零件表面镀膜前和后,系统总透射率Tm与零件数N的关系.单个Ge零件未镀膜时,Ts=47%;镀SiO后,T=99%.…     

(Ge/SiO)膜堆红外滤光片退化机理及其改进研究

本文根据(Ge/SiO)膜堆红外滤光片特性退化的实验,讨论了特性退化机理,从而找到了改进特性退化的方法,并制备出能经受水、盐水和酸溶液浸泡的优质(Ge/SiO)膜堆红外滤光片。     

红外高效率、宽带减反射膜

本文将(aba)三层对称膜推广为(abc)非对称膜,推得等效折射率N~*的计算公式.并用来设计高效率、宽带红外减反射膜.文中给出了计算和试验结果.对于锗基板,在InSb(3～5μm)和HgCdTe(8～12μm)探测器的响应波段,这种膜的平均透射率为98%;在2～13μm、3～14μm和3.5～15μm波段,平均透射率≥94%,特别是在3.8～14.8μm共11μm宽的波段范围内,最低透射率≥90%.     

红外高效增透膜镀类金刚石膜的特性研究

外层为氟化物的红外高效膜、膜层软、易吸潮和氧化.本文提出使用类金刚石膜做红外高效膜的保护膜,讨论了镀制类金刚石膜后,镀膜件光谱特性的变化情况.     

关于二次离子轰击制膜工艺的两点改进

<正> 一、前言二次离子轰击净化镀膜表面的技术已被广泛采用,净化的效果决定于:(1)二次离子轰击结束到开始镀膜的时间τ;(2)充入气体的纯度。考克斯和哈斯的实验结果指出: