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物理学
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2001年
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1
1.
MOCVD方法生长的氧化锌薄膜及其发光特性
总被引:18,自引:4,他引:18
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傅竹西
林碧霞
祝杰
刘丽萍
彭小滔
贾云波
《发光学报》
2001,22(2):119-124
近年来,随着近紫外光发射氧化锌薄膜研究的进展,许多先进的薄膜生长手段被广泛采用。本文探索了用MOCVD方法在硅衬底上生长氧化锌薄膜的方法,试验了用几种不同的有机金属源生长ZnO薄膜;研究了源材料及生长压力和温度对薄膜生长的影响;观察了样品的室温光致发光光 谱。通过与溅射方法生长的ZnO薄膜的比较,提出了影响材料结构和发光特性的可能原因。
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