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一、引 言 采用高功率的激光束辐照离子注入硅样品能够获得比热退火优越的电特性.利用离子束背散射分析技术,能够进行定量的非破坏性测量.一般说来,测量本身不会带来负效应[1].本工作采用离子束背散射技术和电特性测量,对注有砷离子的硅样品的退火行为进行了比较和分析.发现用大剂量(1×1016/cm2)注入的样品在1000℃下,经20分钟退火后,能够获得一个接近于理想的突变结.而红宝石脉冲激光退火,无论从注入损伤的恢复还是从载流子浓度方面来看,都比热迟火优越. 二、实验方法和实验条件的选择 实验样品选用P-型(111)硅单晶片,电阻率p=7-15Ω·cm… 相似文献
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电子示波器是用以显示波形并能进行定量测量的电子设备.电学量和可以变换为电压或电流形式的其他量(压力、温度、震动、声、光、热等),都能用示波器进行观察和测量.在荧光屏上还能描绘由两个变量决定的函数的曲线.这就使电于示波器在工业生产、科学技术以及医疗技术等方面获得广泛应用.以电子示波器为基本测量工具的示波测量方法也迅速地发展起来. 电子示波器是利用高度聚焦的高速电子流在荧光屏上描绘图形.和其他测量仪器相比,它具有直观简便、反应快、灵敏度高、对被测试系统影响很小等优点. 在物理教学中,应用电子示波器,把物理现象的过… 相似文献
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