软X射线多层膜与衰减膜研究

本文采用随机数的方法,发展了一种普适的多层膜设计方法,这种方法除可设计一般的周期多层膜,更重要的是它可以根据选定的评价因子,设计不同要求的非周期多层膜。用磁控溅射方法完成软X射线多层膜制备,X射线衍射、卢瑟福背散射、俄歇电子谱和反射率的相对测试用来表征多层膜结构和特性,所得结果说明多层膜的结构完整,周期参数正确。用离子束溅射方法成功地制备了有一定反射率和透过率的软X射线半反半透分束镜;分析了Ag和Zr衰减膜中的杂质含量与分布及其对衰减膜特性的影响,并对衰减系数进行了修正,为实验提供优质的衰减膜。     

X射线激光Nd薄膜靶表面氧化特性研究

利用石英晶体振荡技术测量了不同环境中稀土元素Nd薄膜靶表面氧化速率,用俄歇电子能谱,扫描电镜,X射线衍射,X射线光电子能谱分析了Nd薄膜表面氧化过程,发现保存环境对靶的表面氧化行为有重要影响。空气中水分是引起Nd快速氧化的关键因素。表面氧化层为团聚状的非晶结构,氧化物与金属的体各比较小可能是引起Nd薄膜较易氧化的原因。Nd薄膜靶表面覆盖有一层氢氧化物,其厚度按保存在真空、干燥空气和潮湿空气环境而依次递增。     

不同环境中X射线激光Yb靶表面氧化研究

 用电子束蒸发方法淀积制备X射线激光稀土元素Yb薄膜靶,将薄膜靶在不同的环境气氛中进行氧化。用X射线光电子谱(XPS)、俄歇电子谱(AES)和X射线衍射(XRD)方法研究了Yb薄膜靶表面氧化层的元素价态、组分和微观结构。发现薄膜表面氧化层中存在分层结构,干燥空气中储存的Yb薄膜表面氧化层由表及里的组分依次为化学吸附水、氢氧化物、氧化物及金属元素。表面氢氧化物和氧化物以非晶态形式存在。潮湿空气中水分是薄膜靶氧化速率增加的主要原因。     

X射线激光Nd薄膜靶表面氧化特性研究

 利用石英晶体振荡技术测量了不同环境中稀土元素Nd薄膜靶表面氧化速率,用俄歇电子能谱,扫描电镜,X射线衍射,X射线光电子能谱分析了Nd薄膜表面氧化过程,发现保存环境对靶的表面氧化行为有重要影响。空气中水分是引起Nd快速氧化的关键因素。表面氧化层为团聚状的非晶结构,氧化物与金属的体各比较小可能是引起Nd薄膜较易氧化的原因。Nd薄膜靶表面覆盖有一层氢氧化物,其厚度按保存在真空、干燥空气和潮湿空气环境而依次递增。     

不同环境中X射线激光Yb靶表面氧化研究

用电子束蒸发方法淀积制备X射线激光稀土元素Yb薄膜靶,将薄膜靶在不同的环境气氛中进行氧化。用X射线光电子谱(XPS)、俄歇电子谱(AES)和X射线衍射(XRD)方法研究了Yb薄膜靶表面氧化层的元素价态、组分和微观结构。发现薄膜表面氧化层中存在分层结构,干燥空气中储存的Yb薄膜表面氧化层由表及里的组分依次为化学吸附水、氢氧化物、氧化物及金属元素。表面氢氧化物和氧化物以非晶态形式存在。潮湿空气中水分是薄膜靶氧化速率增加的主要原因。     

软X射线多层膜与衰减膜研究

 本文采用随机数的方法，发展了一种普适的多层膜设计方法，这种方法除可设计一般的周期多层膜，更重要的是它可以根据选定的评价因子，设计不同要求的非周期多层膜。用磁控溅射方法完成软X射线多层膜制备，X射线衍射、卢瑟福背散射、俄歇电子谱和反射率的相对测试用来表征多层膜结构和特性，所得结果说明多层膜的结构完整，周期参数正确。用离子束溅射方法成功地制备了有一定反射率和透过率的软X射线半反半透分束镜；分析了Ag和Zr衰减膜中的杂质含量与分布及其对衰减膜特性的影响，并对衰减系数进行了修正，为实验提供优质的衰减膜。