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Effect of Pretreatment of TaN Substrates on Atomic Layer Deposition Growth of Ru Thin Films
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The polycrystalline ruthenium films are grown on TaN substrates by atomic layer deposition (ALD) using bis(cyclopentadienyl) ruthenium [RuCp2] and oxygen as ruthenium precursor and reactant respectively at a deposition temperature of 330℃. The low-energy Ar ion bombardment and Ru pre-deposition are performed to the underlying TaN substrates before ALD process in order to improve the Ru nucleation. X-ray diffraction, x-ray photoelectron spectroscopy, scanning electron microscopy and atomic force microscopy are carried out to characterize the properties of ALD Ru films. The results show that the nucleation density of Ru films with Ar^+ bombardment to the underlying TaN substrates is much higher than that of the ones without any pretreatment. The possible reasons are discussed. 相似文献
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将Nafion吸附到玻碳电极表面,并通过静电吸附和共价键合作用将硫堇和纳米金层层自组装到Nafion修饰的电极表面,然后通过形成的纳米金单层吸附髓过氧化物酶(MPO)抗体,最后用辣根过氧化物酶(HRP)封闭电极上的非特异吸附位点,同时起到放大响应电流信号的作用,研制了一种检测MPO的新型电流型免疫传感器.实验结果表明,该免疫传感器对MPO的响应特性良好,其线性检测范围为2.5~100 μg/L; 检出限为1.425 μg/L,达到95%稳态响应时间<30 s,批间、批内的平均RSD(n=20) <2.94%和4.15%.电极的稳定性良好,在连续30 d内进行10次测量后,响应电流开始下降,平均测量值为初始的85.6%.探讨了抗体浓度、底物浓度、pH、温度及其它干扰物质等对该传感器的影响.使用本方法和经典的酶联免疫吸附实验(ELISA)同时对40份人血清标本MPO进行测试,结果表明: 两者相关性良好(r=0.9971, p<0.0001).该电流型免疫传感器具有灵敏度高、特异性好、不需标记和可以重复测量等优点. 相似文献
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一次性唾液α-淀粉酶生物传感器的研制 总被引:1,自引:0,他引:1
基于丝网印刷技术在PVC薄膜上制备了一次性碳电极,用Nafion固定二茂铁(Fc)作为电子介体,将α-糖苷酶和葡萄糖氧化酶(GOD)滴加于二茂铁修饰的电极上,滴加明胶晾干,戊二醛间接交联固定制成一次性唾液α-淀粉酶生物传感器,用计时电流法测定对α-淀粉酶的响应.实验结果表明,该传感器响应电流与α-淀粉酶活性在60~840 U/L之间呈现良好的线性关系,检出限为17 U/L.该生物传感器响应时间短,达到95%稳态响应时间不超过30 s,具有良好的一致性、准确性和稳定性.探讨了pH、缓冲液、温度及其它干扰物质等对该传感器的影响.该传感器可用于唾液α-淀粉酶浓度的快速、准确检测. 相似文献
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