a-Ge/Au双层膜退火后分形区的形成

本文用透射电子显微镜观察了a-Ge/Au双层膜在不同退火温度后出现的分形区域,并计算了它们的分数维数。100℃退火时,触发分形结晶区的成核位较少,形成良好的具有无规分叉、自相似的分形区,分数维数为1.785±0.01。200℃退火时,成核位迅速增加,除了分数维数为:1.818±0.008的分形区外,还出现孤立的无枝叉结构的岛状区域。300℃退火时,只出现尺寸很不相同的两种岛状区域,对上述枝叉伏、岛状区域的出现以及a-Ge膜的晶化和Au膜缩聚之间的关系进行了讨论。 关键词：