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高精度工作台控制系统是现代自动显微系统的重要组成部分,其精度直接影响显微镜对样品的检测质量。介绍了一种基于AT89C52单片机的显微镜工作台闭环控制系统的设计方案。工作台移动时作为检测元件的光栅输出脉冲信号。单片机控制电路实现脉冲的计数并计算误差值,控制步进电机进行反馈补偿。步进电机通过细分驱动模块可以以四种不同的步距驱动工作台移动,以实现显微镜对工作台移动速度的不同需要。8位数码管实时显示工作台移动的实际位置。实验结果表明,该系统的重复定位精度可达到0.020mm,可满足显微镜对控制工作台的要求。 相似文献
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高精度扫描控制系统是现代扫描显微系统的重要组成部分,它影响着扫描显微镜对样品的扫描成像质量。提出了一种基于光栅检测的单片机闭环扫描控制系统的设计方案。该系统采用PC上位机发送指令,下位单片机控制扫描工作台的移动,光栅作为检测元件输出脉冲信号。单片机控制电路实现脉冲的计数并计算误差值,控制步进电机进行误差补偿。步进电机的硬件细分驱动,实现了步距2细分、4细分、8细分。实验结果表明该系统的重复定位精度达到0.005mm,满足扫描显微镜对扫描控制系统的要求。 相似文献
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