分布式电极连续面型微变形反射镜力电耦合特性分析

 针对基于MEMS技术制造的连续面型薄膜微变形反射镜,从薄膜理论出发对其力电耦合变形特性进行理论分析,导出了镜面变形表达式。利用该式及响应频率表达式,定量分析了镜面相关尺寸参数对变形量的关系,为变形镜的结构设计提供了可靠的理论依据。结果表明,当镜面厚度为1 μm且与驱动电极间距20 μm时,对控制电压不超过120 V,响应频率大于50 kHz的应用场合,变形镜镜面半径应在2.1～13.8 mm之间进行选择。仿真结果显示,驱动电压较小时,镜面变形与驱动电压平方近似成线性关系。     

激光引信中阵列激光二极管光束参数的测量方法

根据激光引信中激光器的脉冲功率高、发散角大的特殊测量要求,比较了ISO 11146标准文件对激光束的3种测量方法,以二阶矩法为基础,运用机械扫描法测量光束截面的功率密度,进而再现出光斑图形。采用光能量降为最大强度的1/e2来定义光束束宽,通过等强线求出了宽度和远场发散角。