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1.
非晶SiOxNy薄膜的红外吸收光谱研究   总被引:3,自引:1,他引:2  
通过改变O和N含量研究SiOxNy薄膜中从600到1600cm^-1范围内的红外吸收光谱特征。结果表明,起源于单-Si-O、Si-N键的吸收峰在1105和865cm^-1处;而随着薄膜中O或N含量的升高,位于单一键吸收峰的两侧出现因O-Si-O、N-Si-N的对称和反对键吸收的左右肩;对O-Si-N,其特征吸收峰位于1036和856cm^-1处。  相似文献   
2.
通过改变O和N含量研究了SiOxNy 薄膜中从 6 0 0到 16 0 0cm- 1 范围内的红外吸收谱特征。结果表明 ,起源于单一Si—O、Si—N键的吸收峰在 110 5和 86 5cm- 1 处 ;而随着薄膜中O或N含量的升高 ,位于单一键吸收峰的两侧出现因O—Si—O、N—Si—N的对称和反对称键吸收的左右肩 ;对O—Si—N ,其特征吸收峰位于 10 36和 85 6cm- 1 处。  相似文献   
3.
可以把垂直腔面发射激光器看作是多层光学薄膜,应用光学薄膜原理对其光学薄膜的特性进行了研究。计算分析了布拉格反射镜和谐振腔模的反射谱受器件结构变化的影响。通过利用菲涅耳系数矩阵法计算,得到了光在垂直腔面发射激光器器件结构中形成的驻波场分布。结果表明,利用菲涅耳系数矩阵法设计垂直腔面发射激光器的光学薄膜是一种快捷准确的方法。  相似文献   
4.
采用磁控溅射法制备了氧、氮掺杂的非晶硅膜 ,测量了薄膜的荧光光谱 ,获得了包括红光、绿光、蓝光及紫光和紫外的强荧光发射 ,其荧光特性受氮、氧含量及沉积时基片温度的影响。结果表明 :红光包括起源于量子限制效应的宽带及氧缺陷能级引起的分立峰 ;绿光依赖于氮的掺杂 ,起源于氮的缺陷能级跃迁 ,其峰型和峰位受基片沉积温度的影响 ;蓝光部分表现为多个分立峰的叠加 ,起源于复杂的氧缺陷能级 ;紫光部分包括一对双峰和多个宽发射带 ,发射带的强度受掺杂种类、掺杂浓度及沉积时基片温度的影响。当基片温度为750℃、中等氧氮掺杂时 ,可获得强的绿光和紫光发射。  相似文献   
5.
目的探讨声速匹配组织量化(SVQ)技术定量评价非酒精性脂肪性肝炎(NASH)的可行性和临床应用价值。方法选取经肝穿刺或临床资料证实的非酒精性单纯性脂肪肝(NAFL)及NASH患者各20例,并选取健康体检者20例作为对照组,分别采集3组受试者临床相关资料,进行SVQ检测,采集声速匹配值(ZSI)和组织声速(SV)。结果3组受试者在年龄、身高、体重方面均无统计学差异(均P>0.05),BMI、ZSI和SV均存在统计学差异(均P<0.01)。SVQ技术诊断NASH的AUC为0.801。以SV=1527m/s作为临界点,判断NASH的灵敏度、特异度分别为95.20%、70.60%。结论SVQ技术定量评价NASH是可行的,具有很好的临床应用价值。  相似文献   
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