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<正>A novel direct writing technique using submicron-diameter fibers is presented.This technique adopts contact mode in the process of writing,and submicron lines with different widths have been obtained. Experimental results demonstrate that the resolution of this technique can be smaller than the exposure wavelength of 442 nm,and 380-nm-wide line is achieved.In addition,the distribution of light fields in the photoresist layer is analyzed by finite-difference time-domain method. 相似文献
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K~+-Na~+二次离子交换制作玻璃波导 总被引:2,自引:2,他引:0
通过数值计算模拟了K + Na+ 二次扩散玻璃波导的折射率轮廓 ,阐述了利用K + Na+ 二次离子交换的方法 ,在BK7玻璃上制作波导的过程 ,分析了极化率不同的扩散离子对的选择对波导有效折射率变化的影响 ,以及扩散平衡时体积变化对表面折射率的影响 ,描述了扩散引起的波导内部诱导应力变化 设计了测试波导损耗以及波导表面折射率改变的实验装置 ,对尺寸 1 0mm×1 0mm× 1 .5mm和 1 0mm× 5mm× 1 .5mm两组BK7玻璃基片上的玻璃波导进行了测试 ,测试结果与理论吻合较好 相似文献
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K+-Na+二次离子交换制作玻璃波导 总被引:4,自引:4,他引:0
通过数值计算模拟了K+Na+二次扩散玻璃波导的折射率轮廓,阐述了利用K+Na+二次离子交换的方法,在BK7玻璃上制作波导的过程,分析了极化率不同的扩散离子对的选择对波导有效折射率变化的影响,以及扩散平衡时体积变化对表面折射率的影响,描述了扩散引起的波导内部诱导应力变化设计了测试波导损耗以及波导表面折射率改变的实验装置,对尺寸10mm×10mm×1.5mm和10mm×5mm×1.5mm两组BK7玻璃基片上的玻璃波导进行了测试,测试结果与理论吻合较好. 相似文献
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