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本文介绍了一种以单片机为基础的智能测温仪,它采用了计算比例法和加引双线法,克可服电源波动:引线长短等带来的误差  相似文献   
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本文介绍了在Si3N4膜上制作AgCl膜的三种方法:化学沉积法、真空镀银法和真空沉积AgCl法。实验表明,三种方法制得AgCl膜的性能基本一致。AgCl/Si3N4膜可用来制作离子敏感电极,测量溶液中的Ag+和Cl-离子的浓度,测量范围在10-2~10-5M,但对Ag+离子浓度的测量结果不够理想。  相似文献   
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PECVD硼掺杂微晶硅薄膜的压阻特性   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
郭述文  谭淞生  王渭源 《物理学报》1988,37(11):1794-1799
研究了在硅片、柯伐合金和石英片等不同衬底材料上PECVD生长的微晶硅薄膜的压阻特性。测得以硅片和柯伐合金片作衬底样品的最大应变灵敏度因子(以下简称GF)分别为25和20,经激光退火后可达30。利用价带顶轻、重空穴带在应力作用下分裂模型和热电子发射理论推导了计算p型微晶、多晶硅薄膜GF的公式,可表示为GF对掺杂浓度、晶粒尺寸、晶界陷阱态密度以及薄膜织构的依赖关系,理论计算与实验结果较为符台。本文对微晶、多晶硅薄膜力敏器件的设计和制造将有重要的参考价值。 关键词:  相似文献   
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