铅基压电薄膜材料的制备、微结构与性能

随着微电子技术的发展和高度集成化的趋势,压电薄膜材料愈来愈受到人们的重视.本文对铅基类压电薄膜材料的研究进展进行了评述,主要讨论了:(1) 两种主要制备方法:脉冲激光熔融法(PLD)和溶胶凝胶法(Sol-Gel); (2) 压电薄膜微观结构的表征,如畴结构,薄膜材料与大块材料的差别等;(3) 压电薄膜材料力学、电学及相互耦合性能的评价参数,薄膜处理过程的相变和残余应力和破坏特征.最后提出了人们可能关注的一些问题.