气体中微量氧测定

Hersch电极的商品仪器,最低检出量约0.1ppm左右。但半导体材料研究要求能检出气体中含氧量低至0.02ppm。并要求测定含有掺杂气体中的氧。为此本工作对Hersch电极进行了研究,提出能检测0.005ppm氧的仪器系统。仪器设计仪器结构如图1.为避免反应器中氧在低氧环境中扩散出来,采用玻璃结构。待测气体如含有能和电极起反应的杂质(如As、Zn、Al、P……),应避免待测气体大量通过电极,使电极中毒,采用取样10毫升,然后用纯氩气作载体,读取峰值电流。本仪器测定量为ppm以