气体中微量氧测定

Hersch电极的商品仪器,最低检出量约0.1ppm左右。但半导体材料研究要求能检出气体中含氧量低至0.02ppm。并要求测定含有掺杂气体中的氧。为此本工作对Hersch电极进行了研究,提出能检测0.005ppm氧的仪器系统。仪器设计仪器结构如图1.为避免反应器中氧在低氧环境中扩散出来,采用玻璃结构。待测气体如含有能和电极起反应的杂质(如As、Zn、Al、P……),应避免待测气体大量通过电极,使电极中毒,采用取样10毫升,然后用纯氩气作载体,读取峰值电流。本仪器测定量为ppm以     

微量氧监测器的研究

本文对极谱式氧电极进行了以下的研究:1.推导了电极体内溶解氧扩散电流方程式,并作了验证:2.找出了残余电流起因,主要受铂-玻璃界面封接状态的影响;3.推导了所设计的电极热传导方程式,解决了温度同步问题;4.提出防止电极钝化的方法;5.设计了低漂移高阻抗放大器线路.通过以上的研究提出了一种能测出2ppm氧,响应时间小于10分钟,寿命超过5000小时的氧电极.