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高取向PZT铁电薄膜的溶胶-凝胶法制备 总被引:12,自引:2,他引:12
采用溶胶-凝胶技术,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上成功制备了沿(100)晶向强烈取向的Pb(Zr0.53,Ti0.47)O3铁电薄膜。通过X-ray衍射分析,在每层膜的制备工序中,增加600℃热处理15min的工艺,可有效防止烧绿石相的出现和薄膜开裂,并促进薄膜沿(100)晶向外延生长。制得的薄膜经600℃退火4h,后,呈完全钙钛矿相,并沿(100)晶向强烈取向,原子力显微照片表明,薄膜结构致密,晶粒尺寸约为100nm。经测量,薄膜的相对介电常数高达1150,剩余极化为26μc/cm^2,矫顽场强为49kV/cm。 相似文献
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文章给出Ramsey定理自动证明的一个代数化方法,使用符号计算软件实现了R(3,3)=6和R(3,4)=9的自动证明,并讨论了更复杂情况的简化方法,包括R(3,5)=14和R(3,3,3)=17等情形的分治策略.不同于以往的计算机辅助计算方法,文章将Ramsey定理的转化为多项式的展开合并过程,给出的证明是机械化的. 相似文献
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