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光学薄膜厚度监控的研究魏红振杨杨李家熔(华中理工大学激光工程研究院武汉430074)对于多层薄膜的制备,精确监控每一层膜的厚度是必须的,否则不可能制备一个预期的薄膜系统。应用最广泛的监控方法是采用光电检测,直接测量薄膜透过率或反射率值的极值控制方法。... 相似文献
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