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研究并讨论了在新型柠檬酸盐体系铜电沉积工艺中电镀工艺参数对镀层形貌和颗粒尺寸的影响;利用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)表征了镀层的结构和组分存在状态;并将柠檬酸盐体系电沉积铜应用于微机电系统(MEMS)加工工艺.结果表明:在6 g.L-1 Cu2+,pH=7.0-8.5,1-2 A.dm-2,45℃,搅拌条件下可得到结晶细小,表面平整的致密铜镀层;镀层为面心立方多晶结构的单质铜,不含其他杂质.利用MEMS工艺成功制得平面电感,其有效的最大品质因数(Q)为12.75,达到了设计要求. 相似文献
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为了更有效地在课堂上演示光学实验,提高实验教学效率,用无线视频传输技术将CCD摄像头采集到的目镜里的图像投影在大屏幕上,以此实现学生在看到教师实验操作的同时,又都能看到透过目镜才能观察到的实验现象.无线视频传输技术的应用减少了布线的人工成本与材料成本.CCD摄像头少了线的束缚,可移动性和灵活性增强.一部摄像头可用于多个实验的演示,节约了实验设备的成本. 相似文献
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分别运用一般方法和投影法计算了均匀细圆环和均匀薄圆盘对任意轴线的转动惯量,在验证投影法计算结果正确性的基础上,对计算结果进行了讨论,可以用于对实际问题的分析研究. 相似文献
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