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酚醛-邻重氮萘醌类感光性树脂有较高的分辨力和优良的成膜性能,因此,在电子工业、印刷技术以及其它需进行微细加工的领域中得到了广泛的应用。但是,这类树脂的感光灵敏度不高,光照部份和未光照部份在显影液中的溶解度差别不大,即反差很小,因而给微细加工带来了很大的困难。 相似文献
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