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通过反应磁控溅射过程中的等离子体发射光谱,研究了制备ZnO薄膜的沉积温度、氧气流量比例R=O2/(O2+Ar)对Zn和O原子发射光谱的影响,并结合ZnO薄膜的结构和物理性能,探讨了沉积温度在ZnO薄膜生长中的作用.研究结果显示:当R≥0.75%时, Zn的溅射产额随R的增加基本呈线性下降规律.当R介于10%—50%时,氧含量的变化相对平缓,有利于ZnO薄膜生长的稳定性控制.Zn原子发射光谱强度随沉积温度的变化可以分为三个阶段.当沉积温度低于250℃时,发射光谱强
关键词:
ZnO
薄膜生长
反应磁控溅射
等离子体发射光谱 相似文献
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贵刊 2 0 0 3年 5月下载文“一元二次方程求根公式的推导”读后受益匪浅 .该文介绍了国外数学家的三种推导方法 ,笔者经过深入研究 ,得出另一种全新的推导方法 .对于方程ax2 +bx +c =0 (a≠ 0 ) ,当c =0时 ,方程的解是明显的 ,此时方程至少有一个零根 ;当c≠ 0时 ,方程无零根 ,即x≠ 0 .在方程两边同除以x得ax +b + cx =0 ,即ax + cx=-b ,设ax =-b2 +t,cx=-b2 -t,二式相乘得ac =b24-t2 ,t2 =b2 -4ac4.当b2 -4ac≥ 0时 ,t=± b2 -4ac2 ,将此代回所设 ,得ax =-b2 ± b2 -4ac2 =-b±b2 -4ac2 ,所以 x =-b±b2 -4ac2a .再谈“一元二次方程求根… 相似文献
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近几年,各地种草养畜发展较快,农民把草当粮种,以草换肉,取得可观的经济效益,成为当前农业产业结构调整的发展趋势.如果能正确掌握牧草养畜技术,必将对提高种草效益、增加农民收入、保护生态环境和促进无公害畜产品生产大有裨益. 相似文献
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本文考虑了DJKM方程,利用Hirota双线性算子工具,我们给出了其Bcklund变换(BT)并严格证明了相应的非线性叠加公式。 相似文献
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李勇 《长沙理工大学学报(自然科学版)》2002,14(3):45-48
从倾向性和局限性的角度出发 ,论述了新闻采写过程中客观和主观的失真因素及这些因素产生的原因、作用和克服的方法 ,探讨了解决客观性和倾向性、真实性和局限性这两对矛盾的某些途径。 相似文献
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具有超前和滞后的泛函微分方程的周期解 总被引:1,自引:0,他引:1
考虑具有超前和滞后的泛函微分方程的ω-周期解的存在性问题,其中L_i,R_j,φ_k,ψ_k:R→R(i=1,…,m_1,j=1,…1,…,m_2,k=1,…,m_3)是连续的ω周期函数,D_i:R~2→R~(n×n)连续,关于t以ω为周期;f:R×R~n×…×R~n→R~n连续,关于t以ω为周期;m_1,m_2,m_3为正整数,ω为正常数。 近些年来,人们利用Liapunov第二方法研究常微分方程和具有有限滞后或无限滞 相似文献