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采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MWPECRCVD)方法,使用不同的源气体(CHF3CH4,CHF3C2H2,CHF3C6H6)体系制备了aC∶F∶H薄膜.由于CH4,C2H2,C6H6气体在等离子体中的分解反应不同导致了薄膜的沉积速率和结构上的差异.红外吸收谱的结果表明,用C6H6CHF3作为源气体沉积的薄膜中几乎不含H,而用C2H2CHF3所沉积的薄膜中的含氟量最高,其相应的CF振动峰位向高频方向偏移.薄膜的真空退火结果表明,aC∶F∶H薄膜的热稳定性除了取决于薄膜的CC键浓度外,还与CC键
关键词：
氟化非晶碳膜
电子回旋共振化学气相沉积
红外吸收光谱 相似文献
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党的群众路线强调依靠群众、服务群众。新时期,高职院系部党建工作如何能够更好地依靠师生、服务师生?将党建工作与系部学生管理服务工作有机结合,是扎实有效开展学生管理服务工作的途径之一。 相似文献
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1 实 验已有一些用稀土化合物催化Ｔｉｓｈｃｈｅｎｋｏ和Ａｌ ｄｏｘ Ｔｉｓｈｃｈｅｎｋｏ反应的报道[1～ 4 ] ,本文所用的催化剂对空气和水汽都很敏感 ,所有操作均须用Ｓｃｈｌｅｎｋ技术在氩气保护下进行。溶剂四氢呋喃(ＴＨＦ)和甲苯经无水ＣａＣｌ2 干燥 ,使用前经二苯甲酮 钠回流至蓝紫色蒸出。丁醛经 0 .4ｎｍ分子筛干燥后 ,在氩气保护下蒸出。稀土离子含量用ＥＤＴＡ络合滴定法测定。产物的收率在岛津公司生产的ＧＣ 14Ｂ型气相色谱仪上测定。1.1 催化剂的合成 (ＭｅＣｐ) 3 Ｌｎ由无水ＬｎＣｌ3与ＭｅＣｐＮａ按 1∶3摩尔… 相似文献
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使用C2H2和CHF3的混合气体,在改变微波功率的条件下,利用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积方法制备了氟化非晶碳薄膜(aC∶F).薄膜的傅里叶变换红外光谱分析结果表明:薄膜中的CC与C—F键含量的比值随功率的增加而相应地增大;借助于紫外可见光谱分析发现,薄膜的光学带隙随功率的增大而减小.由此推断微波输入功率的提高有助于增强薄膜的交联结构.aC∶F薄膜的交流电导与x射线光电子能谱进一步证实了这种增强效应
关键词：
氟化非晶碳薄膜
傅里叶变换红外光谱
x射线光电子能谱 相似文献
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使用90%N2稀释的SiH4与O2作为前驱气体，利用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积（ECR CVD）方法制备了非晶氮氧化硅薄膜（a-SiOxNy）.红外吸收光谱的结果表明，a SiOxNy薄膜主要由Si O Si和Si N键的两相结构组成，在存在氧流量的情形下，薄膜主要成分是SiOx相，而在无氧流量的情形下，薄膜则主要是SiNx相.使用565eV的紫外光激发，发现SiOxNy薄膜出现了位于460nm的光致蓝光主峰，且其发光强度随着氧流量的降低而显著增强.根据缺陷态发光中心和SiNx蓝光发射能隙态模
关键词：
ECR CVD
红外吸收光谱
非晶氮化硅薄膜
光致发光 相似文献
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