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以液相法合成的氟金云母纳米前驱粉体、氟磷灰石纳米粉体为原料,借助粉末冶金热压工艺制备了氟金云母/氟磷灰石生物玻璃陶瓷。利用X射线衍射(XRD)仪、场发射扫描电子显微镜(FESEM)等设备,研究了复合材料的晶化行为、相组成、显微结构和力学性能。研究结果表明:在设定的烧结工艺下,玻璃陶瓷的晶化度显著提高。随着氟磷灰石质量分数的增加,玻璃陶瓷的孔隙度显著降低,抗弯强度和显微硬度逐渐升高。氟磷灰石的特征结构对玻璃陶瓷性能的提升有较大作用。 相似文献
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采用反应磁控溅射技术,在单晶Si(100)面基底上制备了4个氮分压条件下Ta-Ru-N扩散阻挡层薄膜。通过X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、能谱(EDS)、透射电子显微镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)以及四探针电阻测试仪(FPP),对所制备薄膜的相结构、表面形貌和电学性能进行了表征,研究了氮分压对薄膜微观组织和性能的影响。研究结果表明:制备的Ta-Ru-N薄膜为非晶态,适量氮气的加入能够提高薄膜表面的平整度,薄膜方阻随着氮分压的增加而逐渐增加。 相似文献
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