SiCl_4-H_2沉积多晶硅薄膜过程中放电功率的影响

以SiCl4 和H2 为气源 ,用等离子体增强化学气相沉积技术 ,以 3 5 s的速率生长出了晶化度为 75 %的优质多晶硅薄膜 .着重分析放电功率的影响 ,结果表明 :随着功率的增大 ,薄膜沉积速率基本上线性增大 ,之后有减小的趋势 ;薄膜晶化度随功率的增大而减小 ;功率较大时 ,晶粒密度也大 ,且比较均匀 ,但晶粒尺寸较小 ,功率较小时 ,大尺寸的晶粒明显增多 ,但仍有较多的小晶粒存在     

A Movable Mass Spectroscopy Sampling Apparatus for Measuring Spatial Distribution of Neutral Radicals in Silane Plasma

A movable mass spectroscopy gas sampling apparatus has been established and a straight-line fit of silane depletion fraction f is proposed. The spatial density distributions of SiHn (n=0-3) radicals in silane radio frequency glow discharge have been measured by a mass spectrometer. The experimental results demonstrate that the densities of the neutral radicals have the peak value near the middle position of electrodes, and the densities of SiH2 and SiH3 are higher than those of Si and SiH in silane plasma. This reveals that SiH2 and SiH3 may be the primary precursors in forming the a-Si:H film.     

阻尼作用下的弦振动研究

在求解阻尼作用下的弦振动方程稳态解的基础上 ,讨论了有阻尼情况下弦上各点的振动情况以及策动力如何传递能量以补充由于阻尼所引起的能量损耗的过程 ,它将使我们进一步地了解弦振动的实际过程 ,并对相关的研究、测量和教学工作提供参考和指导意见 .     

机器结构噪声转动功率流的测量

利用互功率谱的方法对安装在混凝土地板上的小型排气扇工作时产生的转动结构声功率流进行了测量 ,对不同的地板和不同劲度系数的隔振支架对结构声功率流的影响以及各自由度的结构声辐射进行了比较和讨论     

利用力-电类比方法研究力矩激励器

本文将力-电类比方法推广到转动自由度,建立了力矩激励器和它的校正系统的类比电路图,并从实验上验证了该类比电路的正确性,为优化力矩激励器的设计提供了依据。     

用SiCl4/H2气源沉积多晶硅薄膜光照稳定性的研究

对以SiH₄/H₂及SiCl₄/H₂为源气体、采用 等离子体增强化学气相沉积技术制备的非晶硅薄膜和多晶硅薄膜进行了光照稳定性的研究.实验表明，制备的多晶硅薄膜并没有出现 非晶硅中的光致衰减现象，其光电导、暗电导在光照过程中没有下降反而有所上升且电导率 变化快慢受氢稀释度的制约.多晶硅薄膜的光照稳定性可能来源于高的晶化度及Cl元素的存在. 关键词： 多晶硅薄膜 稳恒光电导效应 晶界 光致衰退效应     

咔唑在含硝酸乙醇溶液中的发光特性

通过向咔唑的乙醇溶液中加入硝酸,制得能够发射绿光的咔唑溶液.测量其不同浓度溶液的发射光谱,发现当浓度较低时,其溶液能够发射紫光,随着浓度逐渐增大,发光也相应红移到绿光.基于对咔唑乙醇溶液、盐酸溶液以及硝酸溶液之间发射谱和吸收谱的比较,探究了咔唑的硝酸溶液能够发射绿光的原因.结果表明,由于咔唑发生了硝化反应,生成咔唑的衍生物,并且形成相应的激基缔合物,进而导致了咔唑发光特性的改变.     

Ca2SnO4∶Tb3+绿色荧光粉的制备及光致发光研究

采用高温固相法合成了Ca2 SnO4∶Tb3+绿色荧光粉.利用X射线衍射分析了Ca2 SnO4∶Tb3+物相的形成.测量了Ca2 SnO4∶Tb3+的激发和发射光谱,激发光谱由一个宽激发峰组成,研究了Tb3+浓度对样品激发光谱的影响,结果显示,随Tb3+浓度增大,宽带激发峰发生了红移.发射光谱由四个主要发射峰组成,峰值分别位于491,543,588和623 nm处,Tb3+以5 D4-7 F5(543 nm)跃迁发射最强,低掺杂浓度下,Tb3+的7 F6能级出现斯托克劈裂,劈裂峰(481 nm处)随Tb3+浓度增加,先增强然后减弱;在发光强度方面,随Tb3+浓度的增大呈现先增大后减小的趋势,当Tb3+摩尔浓度为9％时,发光强度最大,根据Dexter理论,确定了在Ca2 SnO4基质中Tb3+自身浓度猝灭机理.荧光寿命测试表明Tb3+在Ca2 SnO4基质中荧光衰减平均寿命为4.4 ms.     

机器和支撑结构的力矩激励

机器和支撑结构的力矩激励．要求设计大小不等．能工作在不同频段的力矩激励器．本文利用力－电类比理论并从磁学和声学方面对三种力矩激励器进行了设计．     

机器转动自由度的结构声功率流的预测

本文利用机器的自由源角速度 ,水泥地板力矩导纳和隔振支架的劲度系数预测了两个水平方向转动自由度的结构声功率流 ,并与垂直方向平动自由度的结构声功率流进行了比较 .预测结果表明 :虽然转动自由度的功率流在所研究的频率范围内均小于平动自由度功率流 ,但是在 5 0 0 Hz以下的低频段的结构声发射不容忽视