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蔡一鸣 《复旦学报(自然科学版)》1983,(1)
用溅射方法可制备高熔点金属等各种材料的薄膜,并且具有粘着力强、膜厚容易控制等优点,已被科研和工业部门广泛应用. 在各种类型的溅射方法中,直流三极或四极溅射不存在射频溅射具有的那种高频辐射,故为人们乐于采用.同时,它的可调参数较多,特别适用于各种探索性的科研工作. 溅射工艺要注意的主要问题是要减少污染.尤其是在制备钨、铌、钽、钼、钛等高熔点金属薄膜时,由于高熔点金属薄膜在生长过程中对环境中的活性气体特别敏感,改善溅 相似文献
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对(Y+Ba):Cu为1~2的Y-Ba-Cu-O系列超导材料进行了广泛的实验研究.发现在这一实验范围内Y为15%~40%的任一配比经过通氧烧结后都是欠氧、超导的.观察了不同名义成分的超导体结构,发现它们都含有YBa_2Cu_3O_7的简单正交结构超导相(A相),而差异则体现在另一相(B相)的组分中,即后者似乎起了“吸杂中心”的作用.当Y的含量过多时,在B相上还会发现由Y_2O_3小粒子组成的C相.这些结果可用以解释一系列的实验现象. 相似文献
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