弧长公式成立的充要条件

连续曲线不一定可求长，连续曲线可求长当且仅当它的参数表示是有界变差的，但弧长未必能用公式表达，利用勒贝格积分的基本理论证明绝对连续是弧长可用公式计算的充要条件。     

扫描干涉场曝光中光栅掩模槽形轮廓的预测

根据扫描干涉场曝光的特点,针对光刻胶层内曝光量的驻波效应,建立了动态曝光模型。基于快速推进法建立了显影模型,得到了光栅掩模槽形的演变规律。为减弱驻波效应的影响,提出了一种抗反射层最优厚度的设计方法。仿真结果表明,建立的曝光和显影模型能有效预测光栅掩模的槽形轮廓,同时可优化抗反射膜的厚度。     

动力系统的遍历性

给出遍历性及唯一遍历的几个等价条件.主要结果是定理4、定理6及定理7.并利用定理4给出定理5的一个证明.定理6及定理7给出唯一遍历的等价条件,定理7的证明采用的是泛函分析的方法.     

用于齿轮齿面形状误差测量的光学系统设计与仿真

基于齿轮齿面的特殊性和激光干涉系统设计理论,以系统易实现、且能获得良好的干涉条纹图像为具体设计目标,提出了斜入射式的激光干涉测量系统结构方案。介绍了光学测量系统的结构、原理,阐述了基于光线追迹的光学系统计算仿真方法,给出了分别以平面、渐开线直齿轮齿面和渐开线斜齿轮齿面作为被测对象时的干涉条纹图像的仿真结果。     

平面电机散热器热流建模与尺寸-拓扑并行优化设计

为了提高平面电机水冷散热器热流性能,该文构建了散热器热流模型并开展了"结构尺寸-流道拓扑"并行优化设计.首先,构建了散热器3层热流模型,该模型囊括了盖板与流固混合层的流动/传热耦合效应以及散热器厚度方案对热流场的影响.其次,基于3层热流模型,引入孔隙度域来描述流道拓扑,构建了包含流道拓扑变量与层厚变量的连续伴随结构优化...     

群作用下的Khintchine回归定理

利用积分论得出保测变换的一个基本性质及庞加莱回归定理的一个等价命题,建立概率保测系统概念,并推广了Khintchine回归定理,利用一般的Khintchine回归定理得到了回归集的一些性质。     

有界变差连续函数族的纲性

利用Baire纲定理证明了连续函数空间C[a,b]上有界变差函数全体是第一纲集,多数连续函数的图像是不可求长曲线。     

干涉条纹相位锁定系统分析及其控制

干涉条纹的相位变化与干涉条纹中某一固定点的光强密切相关,基于这一原理,通过对干涉场光强分析,提出并设计了一种用于干涉条纹相位锁定的控制系统.光电探测器检测干涉条纹中固定目标点的光强,并以该光强电压作为反馈控制信号,利用声光调制器对干涉系统中两束高斯光束中的一束进行实时频率调制,将光强电压控制在一个固定值,实现干涉条纹的相位锁定.构建了条纹锁定控制系统控制对象的理论模型,通过实验进行了验证,并基于该模型的特点设计了条纹锁定控制器.实验结果表明:在400Hz的控制频率下,干涉条纹相位漂移不超过±0.04个条纹周期,满足干涉光刻的曝光需求.     

基于远场干涉的扫描干涉场曝光光学系统设计与分析

高斯光在远离束腰位置能得到直线度极高的干涉条纹,基于此提出了一种基于远场干涉的新型扫描干涉场曝光(SBIL)系统。建立了条纹相位非线性误差关于高斯光束腰半径、入射角度及束腰到基底距离的解析表达式。通过数值仿真,详细分析了条纹相位非线性误差与上述参数的关系。研究结果表明,该光学系统可以有效地将条纹相位非线性误差限制在纳米量级,并具有光路简洁、装调误差宽容度较高的优点。适当缩短束腰到基底的距离,可有效解决曝光光斑边界处条纹相位非线性误差恶化的问题。