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由于QCM传感器频率高、振幅小的振动难以观察,无法分析电极对传感器性能的影响.针对这一问题,通过引入了通用有限元分析软件ANSYS,在Workbench平台上建立石英晶片厚度剪切振动模式模型,分析了不同尺寸电极对QCM传感器性能的影响.仿真结果表明:电极直径增加会导致石英晶体的谐振频率下降;电极尺寸过大过小都容易导致寄生模干扰加强. 相似文献
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