几种光产酸剂产酸效率的测定

溴酚兰水溶液的紫外吸收会随着体系中含酸的量发生变化,在440 nm吸收峰处一定浓度范围内溴酚兰水溶液的吸光度与溶液中酸浓度成正比,可由此测定酸浓度.用这种方法测定了3种不同类型的光产酸剂在聚乙二醇膜层中在低压汞灯(254 nm)照射下的产酸量.其中三嗪光产酸剂的光照产酸能力最强.     

含POSS光刻胶材料研究进展

光致抗蚀剂又称光刻胶,是微电子加工过程中的关键材料。多面体低聚倍半硅氧烷（POSS）是一种具有规则的笼型结构的聚合物增强材料,由POSS改性的聚合物实现了有机-无机纳米杂化,POSS刚性结构的引入阻碍了聚合物分子的运动,可以显著提高聚合物的玻璃化转变温度（T_g）,降低聚合物的介电常数,提高聚合物的力学性能,也提高了含POSS光致抗蚀剂的耐蚀刻性。基于这些优点,含POSS的光刻胶材料得到广泛关注。本文对含POSS光刻胶的研究进展作了简要介绍。     

酸增殖剂研究进展

本文综述了能有效提高化学增幅抗蚀剂体系感度的各种类型酸增殖剂及其酸增殖机理.对某些常用于光致抗蚀剂中的酸增殖剂的特性作了介绍.并对它们的应用前景、现存问题和改进方向进行了简单讨论和介绍.     

Studies on Tripolycyanamide Formaldehyde Resin-Pd Complex and Its Use in the Synthesis of the Branch of Paclitaxel

A novel method was developed to prepare the branch of paclitaxel using 2,4-dichlorophenylaldehyde as the starting material.The branch was synthesized through condensation, cydoaddltion and catalyzing hydrogenation of dichlorophenyl intermediate. Tripolycyanamide formaldehyde resin-Pd complex as hydrogenation catalyst has been studied. The influence of temperature and N/Pd atomic ratio of the catalyst on the effect of catalytic hydrogenation was investigated and the optimum conditious were found. Because of the mild cyclization reaction condition, convenient asymmetric resolution operation and high yield, the synthetic route was practical.     

手性环丁内酯取代的氨基噻二唑的合成研究

探讨了手性源(R)-(-)-5-[(1R)-孟氧基]-2(5H)-呋喃 酮与氨基噻唑类化合物的不对称Michael加成反应,并利用该反应合成了6个新型手性环丁内酯取代的氨基噻二唑类化合物,所有产物均经过1HNMR、 IR、旋光度和元素分析等给予确证. 结果显示氨基噻唑中的氨基主要是从孟氧基所在位置的反面进攻β-碳原子 .     

高酸解性聚合物的合成及应用

采用常见的芳香二酸(对苯二甲酸和1,4-萘二甲酸)与1,4-二(2-乙烯氧基乙氧基)苯(1,4-DVEB)聚合,得到了2种新型的芳香酯缩醛聚合物,这些聚合物在各种常用溶剂如丙二醇甲醚醋酸酯(PG-MEA)、二氧六环、乙二醇乙醚中有较好的溶解性,分子量(Mn)3 000~5 000,热分解温度都大于230℃,用DSC测得其玻璃化转变温度在60℃左右.这2种酯缩醛聚合物在室温即可酸解,因此可与光产酸剂等组成无需后烘加热的正性化学增幅型感光成像材料,可用于高感度PS版或UV-CTP版感光剂.     

一种适用于193nm光刻胶的硫盐光产酸剂的制备与性质

制备了一种阳离子含有萘基,阴离子分别为对 甲苯磺酸、甲磺酸及三氟甲磺酸的硫盐.它们有高的热解温度和在常用有机溶剂中较好的溶解性.测定了此类光产酸剂在水溶液及聚乙二醇固体膜层中的紫外吸收特性.结果表明,阴离子不含苯基时,在193nm处有很好的透明性.考察了其在低压汞灯照射下的光解性质,在254nm附近的吸收峰随光解进行迅速减弱.此类光产酸剂适用于氟化氩激光(193nm)等的化学增幅型光致抗蚀剂.     

一种高感度深紫外正性化学增幅型抗蚀剂的制备

聚对羟基苯乙烯和环己基乙烯基醚反应得到缩醛保护的聚合物.该聚合物易溶于常见的有机溶剂,具有较好的热稳定性,在248 nm处透明性良好.该聚合物可与聚对羟基苯乙烯-甲基丙烯酸金刚烷基酯及二砜光产酸剂等组成一种三组分正性化学增幅型深紫外光致抗蚀剂,初步研究了该抗蚀剂的感光成像性能.采用KrF激光（248 nm）曝光,在较低的后烘温度下,显影得到分辨率为180 nm的线条图形.显影后的留膜率在99%以上.在光致抗蚀剂体系中引入对羟基苯乙烯-金刚烷基甲基丙烯酸酯共聚物,可提高光刻胶材料的玻璃化转变温度,有利于其实际应用.     

1-取代-顺式-1,2-环己二醇单磺酸酯类酸增殖剂的合成和性质研究

用过氧化氢氧化烯烃得到顺式邻环己二醇,继而和对甲苯磺酰氯反应得到两种1-取代-顺式-1,2-环己二醇单磺酸酯.以溴酚兰作指示剂,用作者自己的方法定量测定了它们在聚乙二醇膜层中的酸解性能.结果表明,在光产酸剂所产酸作用下,在加热条件下这些化合物发生分解并产酸.这两个磺酸酯的储存稳定性不是很好,在极性溶剂作用下易分解,限制了它们在化学增幅型成像材料中的应用.     

间苯二酚杯芳烃——化学家的建筑积木

间苯二酚杯芳烃是超分子化学的第3代主体分子。介绍了间苯二酚杯芳烃的结构、衍生化途径及其衍生物的用途。