溅射式PIG源的研制

本文介绍一种将冷阴极发射式PIG气体放电源改装成溅射式PIG源以获得多种固体元素离子的方法。对改装后的离子源的放电参数进行测量与讨论,并对离子源所产生的束流性能进行测量。     

液态金属离子源与聚焦离子束的研制进展

为了适应大规模集成器件制作工艺发展的需要，开展了液态金属离子源（ＬＭＩＳ）和聚 焦离子束（ＮＢ）的研究。研制成针型、同轴针型与毛细管型的镓与金ＬＭＩＳ，Ａｕ－Ｓｉ、Ａｕ－ Ｓｉ－Ｂｅ与 Ｐｄ－Ｎｉ－Ｓｉ－Ｂｅ－Ｂ三种共晶合金型 ＬＭＩＳ：研究了带有控制栅极的 ＬＭＩＳ的控 制性能；编制了计算聚焦离子枪所需的程序；制成三种型式的聚焦离子枪并获得０．１μｍ 直径的聚焦离子束；制成扫描离子显微镜（ＳＩＭ）；初步开展了刻蚀试验。     

浅谈宝天高速公路环境保护的措施

伴随着我国公路的高速发展,工程建设对环境的污染,公路对周边环境影响等问题也大量凸现出来。如何解决公路设计中带来的环境问题,如何解决公路建设中对环境的影响问题是我们公路人目前面对的主要课题。生态公路的建设,要剔除先破坏后治理的观念,建立可持续发展观念,工程建设服从于环境保护。环境保护设计不过分强调公路构筑物与自然的区别,应使公路工程与自然环境融为一体,使公路与周围环境形成新的人文景观,提供良好的视觉环境。