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采用一种新的自行设计的磁控弧光增强等离子体化学气相沉积法制备立方氮化硼(c-BN)薄膜.现已成功地在单晶硅上制备出了含量较高的立方氮化硼(c-BN)薄膜.制备出的薄膜用傅立叶红外(FTIR)光谱和X射线衍射(XRD)谱来表征.同时研究了各个沉积参数(基底直流负偏压、弧光等离子体放电电流、气体流量比)对立方氮化硼薄膜制备的影响. 相似文献
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关于开设"物理演示实验"公选课的教学探讨 总被引:6,自引:1,他引:5
本文就面向南开大学文理科学生开设的“物理演示实验”公选课的教学内容、教学方法等问题作了简要的介绍和研讨. 相似文献