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介绍热丝化学气相沉积(HFCVD)法沉积大面积金刚石膜的设备的原理和设计,设备主要包括真空系统、水冷系统、热丝架、供气系统以及电路系统,给出了该设备的性能指标参数.该设备可以用于沉积高质量的大面积金刚石膜,沉积的金刚石薄厚膜直径最大可达220 mm,膜沉积速率为1~2μm/h. 相似文献
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金刚石膜电极电化学氧化石油污水的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
用BDD(掺硼金刚石)作电极,采用循环电解法处理石油污水,研究了电解时间、槽电压及电极间距对有COD(化学需氧量)降解率的影响,实验发现在槽电压8 V、电极间距2 mm,经过5h电解废水的COD降解率达到了93.9%,并且做了阴极替换实验,最后对COD的降解机理做了分析. 相似文献
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