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1.
基于针式传感器的多功能扫描探针显微镜   总被引:4,自引:0,他引:4  
为了克服传统的扫描探针显微镜(SPM)在应用中的不足,采用微石英晶振来取代传统SPM的具有复杂结构的微悬臂的激光位移检测装置,使成本极大地下降。通过对锯齿型光栅试件的检测,证明这种检测方法是可行的。同时在微石英昌振前端安装不同种类的细针,可实现STM,AFM,MFM与EFM的测量,构成一机多能系统。  相似文献   
2.
介绍了一种基于热学知识设计的表面薄膜微型MEMS皮拉尼计,并将其用于圆片级真空封装腔体的真空度测量中。为了设计灵敏度较高的皮拉尼计,对不同结构的皮拉尼计的热量分布进行了数值计算与分析,并最终完成了加工。此皮拉尼计的结构和加工工艺比较简单,能用于一般的MEMS真空封装中。实验结果显示该皮拉尼计可以测量1-10^5Pa的真...  相似文献   
3.
讨论了磁力显微镜中的镍针尖的制备技术;并通过改进以往采用直流电化学腐蚀方法制备针尖的电路,可以在金属丝被腐蚀断裂瞬间获得更短的腐蚀电流切断时间,当腐针电路切断时间减少到200ns时,可重复获得半径优于10nm的镍针尖。  相似文献   
4.
从理论上研究了粘附微小针尖后造成石英晶振的品质因素Q值降低的原因,通过实验得出合适的针尖直径、长度等参数,使石英晶振的Q值大大地提高,从而提高仪器检测的灵敏度。  相似文献   
5.
为了克服传统的扫描探针显微镜 (SPM )在应用中的不足 ,采用微石英晶振来取代传统SPM的具有复杂结构的微悬臂和激光位移检测装置 ,使成本极大地下降 .通过对锯齿型光栅试件的检测 ,证明这种检测方法是可行的 .同时在微石英晶振前端安装不同种类的细针 ,可实现STM ,AFM ,MFM与EFM的测量 ,构成一机多能系统  相似文献   
6.
Influence of thermal-mechanical properties on the features of the panda polarization-maintaining optical fiber (PMF-) in fabrication process is studied in detail by finite element method (FEM). The stress birefringence is 2.13443×10-4 obtained by the static analysis and 2.1269×10-4 by dynamic analysis. The difference in simulation by two methods is around 0.4%. The non-uniformity of stress birefringence in the fiber core is about 1.6%. Predicted results demonstrate that effect of the thermal conductive parameter on fiber thermal stress dominates. The high and uniform stress birefringence in the fiber core is obtained by appropriately selecting suitable stress region area and position.  相似文献   
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