排序方式: 共有3条查询结果,搜索用时 0 毫秒
1
1.
原子力显微镜及其在各个研究领域的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
在当今的科学技术中 ,如何观察、测量、分析尺寸小于可见光波长的物体 ,是一个重要的研究方向。在众多的科学领域里 ,人们希望实时地看到具体的真实变化过程 ,而不仅仅是根据前后的现象和关系来推理 ,这就需要高分辨率的显微镜。适应这种需要 ,许多用于表面结构分析的现代仪器问世 ,如透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)、场离子显微镜(FIM)、俄歇电子能谱仪(AES)、光电子能谱(ESCA)等 ,但是大多数技术都无法真正地直接观测物体的微观世界。在这之后 ,原子力显微镜出现了。一、原子力显微镜的结构和工作原… 相似文献
2.
3.
随着集成电路的飞速发展,SiO2作为传统的栅介质将不能满足MOSFET器件高集成度的要求,需要一种新型High-k材料来代替传统的SiO2,这就要综合考虑以下几个方面问题:(1)介电常数和势垒高度;(2)热稳定性;(3)薄膜形态;(4)界面质量;(5)与Si基栅兼容;(6)工艺兼容性;(7)可靠性.本文综述了几类High-k栅介质材料的研究现状及存在的问题.目前任何一种有望替代SiO2的栅介质材料都不能完全满足上述几点要求.但是,科学工作者们已经发现了几种有希望的High-k候选材料. 相似文献
1