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采用量子模型对近共振激光驻波原子透镜会聚Cr原子束、形成纳米量级光栅结构的物理过程进行数值模拟。为提高原子透镜的成像质量,对各种像差,如衍射像差、球差、色差、及原子束发散角、原子磁支能级、原子同位素等因素引起的像差进行了理论分析。模拟结果表明,相比粒子光学模型,量子模型能更加精确地描述原子会聚结果,且能解释原子在驻波光场中的衍射现象。在各种像差中,原子束发散角是最主要的因素,其影响大于衍射像差、球差、色差。原子的磁支能级、同位素等因素对像差影响很小,可以忽略不计。激光冷却准直原子束的方法可以减小束发散角引起的像差,压缩原子速度Vz分布范围的方法可以减小色差。 相似文献
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软X射线Mo/Si多层膜反射率拟合分析 总被引:7,自引:5,他引:7
由于多层膜的表界面粗糙度和材料之间的相互扩散等因素,导致多层膜的实际反射率小于理论计算的反射率,因此,多层膜结构参量的确定对镀膜工艺参量的标定具有重要意义。由于描述单个非理想粗糙界面散射的Stearns法适用于软X射线短波段区域,采用它的数学模型来描述软X射线多层膜的粗糙度,利用最小二乘法曲线拟合法对同步辐射测得的Mo/Si多层膜的反射率曲线进行拟合,得到了非常好的拟合结果,从而确定了多层膜结构参量,同时分析了多层膜周期厚度,厚度比率,界面宽度以及仪器光谱分辨率对多层膜反射特性的影响,这些工作都为镀膜工艺改进提供了一定的理论依据。 相似文献
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介绍了在极紫外波段,利用帽层材料来减少多层膜反射镜因外部环境干扰而造成的反射率降低,使多层膜光学元件能够长时间稳定工作.计算了在139nm波长处Mo/Si极紫外多层膜反射镜在表面镀制不同帽层材料时的理论最大反射率,利用单纯形调优法,对帽层和多层膜的周期厚度进行优化,同时把分层理论用于多层膜帽层优化,可使多层膜的反射率得到进一步提高.分析了在加入帽层前后多层膜外层电场强度的分布变化情况.
关键词:
多层膜
反射率
帽层
极紫外 相似文献
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原子束在慢波场中的多普勒频移的观察 总被引:1,自引:0,他引:1
报道了在慢波场中原子波谱多普勒频移随微波慢波系数的变化,并讨论产生这种现象的原因,实验中观察到慢波场中的原子多普勒频移现象,给出了钠原子在慢小系数分别为5.20和10.67情况下的微波波谱,证实了原子微波慢波波谱中多普勒频移正比于慢波系数。 相似文献