MEMS 器件的白光干涉测量

白光干涉测量法适用于 MEMS 器件的三维表面形貌测量。通过 Matlab 仿真,讨论了在局部峰点插值法中采用三次样条插值的优势,从测量速度、测量精度、抗噪能力和扫描步距等方面对局部峰点插值法与傅立叶变换滤波法、希尔伯特变换法、小波变换法进行比较。最后经过中值滤波预处理、局部峰点插值法处理后,得到器件的三维表面形貌。     

精密绝对辐射定标的成就及重要性

本文确认、应用了描述电磁辐射与大气及地球表面特征相互作用的模型,参照此模型的要求,讨论了精密绝对辐射定标的重要性。阐述了用于陆地卫星主题绘图仪及SPOT/HRV系统飞行中定标方法,并且讨沦了这些方法的局限性。飞行中绝对定标方法的不稳定性提醒我们,要利用辐射传输程序来预测探测器入瞳的表观辐射率,以及通过良好大气反射成象所测得的地而目标的辐射率。本文还讨论了这种方法的不确定度。