基于图像灰度信息的直线位移测量

提出了一种基于视觉的新型直线位移测量方法。建立了图像各像素点灰度值与直线运动位移间的映射函数模型,通过数值方法解算了直线运动平台的位移。通过蒙特卡罗仿真对所提方法进行分析,证明了其可行性与合理性。分析了检测点拓扑结构对测量精度的影响。实验结果表明,在10 mm的位移测量范围内,所提方法的测量误差标准差为4μm。     

超精密气浮工件台误差建模

为了研究多种作用因素在高加速、大行程条件下对超精密微动台静态精度的影响,利用刚体运动学,通过综合工件台中的线性位置误差与角位置误差,建立了超精密气浮工件台的静态误差解析模型。利用该模型,结合有限元等方法定量分析了超精密气浮工件台中加速度、制造误差、结构柔性及气浮轴承刚度等普遍存在的误差因素同时作用时对系统最终精度的影响。通过分析,证明在高加速、大行程条件下,气浮轴承的角刚度不足是造成静态误差的主要因素。     

高精度平面光栅尺测量系统减振技术研究

高精度平面光栅尺测量系统的测量精度直接影响浸没光刻机硅片台的定位精度和稳定时间.考虑到安装在平面光栅尺载体上的平面光栅尺因其载体固有频率较低,易受到主基板残余振动和高速硅片台气压扰动而产生振动,因此研究平面光栅尺载体的减振技术意义重大.文中阐述了一种新型平面光栅尺载体减振方法,围绕热解耦技术和粘滞阻尼吸振技术,进行理论建模、仿真分析和测试评价.结果表明粘滞阻尼器和柔性结构并联系统可以显著改善平面光栅尺载体结构动态特性,提升平面光栅尺测量系统的测量精度及缩短硅片台的稳定时间.      

基于弹性接触下的微幅滚动隔振机构

以往将滚动机构用于微幅隔振领域时,其建模通常是基于刚性接触和纯滚动运动的假设,理论与实测固有频率存在较大偏差。为了解决上述问题,该文在弹性接触前提下,考虑接触面弹性变形和微观滑动的影响,根据Lagrange方程建立新的保守系统运动微分方程,进而得到固有频率表达式。以往结果仅包含结构参数,该文表达式还包含了相关材料参数。理论结果表明:接触面之间弹性变形储存的弹性势能是以往研究中固有频率偏差的主要来源;实验结果表明:该文所提出的理论比以往模型更接近实测结果,相较于以往模型70%的偏差,该文所提模型的偏差下降到25%。     

半导体光电探测器光谱灵敏度的测试

对半导体光电探测器光谱灵敏度的测试原理进行分析研究,就研制的１套波长范围为０４～１１μｍ的采用双光路替代法,可以测试半导体光电探测器的光谱灵敏度和量子效率的光谱灵敏度测试装置进行了分析,该装置在测试过程中可以减小光源不稳定性对测试结果的影响,可以测试相对光谱灵敏度、绝对光谱灵敏度,还分析了影响该装置测试精度的一些因素,并给出了测试结果     

山西省农村气象语音信息服务系统开发

介绍了农村气象语音信息服务系统的研究目标、研究内容以及需解决的关键问题,提出了农村气象语音信息服务系统的技术方案,农村气象语音信息服务系统的成功开发将为农民提供快捷、方便、经济、实用的农村信息服务。     

扫描干涉场曝光中光栅掩模槽形轮廓的预测

根据扫描干涉场曝光的特点,针对光刻胶层内曝光量的驻波效应,建立了动态曝光模型。基于快速推进法建立了显影模型,得到了光栅掩模槽形的演变规律。为减弱驻波效应的影响,提出了一种抗反射层最优厚度的设计方法。仿真结果表明,建立的曝光和显影模型能有效预测光栅掩模的槽形轮廓,同时可优化抗反射膜的厚度。     

利用电子显示屏做好公共气象信息的传播

阐述了公共气象信息传播的重要性,介绍了现有公共气象信息的传播手段,详细论述了电子显示屏播放气象信息的优势.     

一种含假芪型偶氮生色团两亲性嵌段共聚物的合成与表征

利用原子转移自由基聚合（ATRP）合成了一种新型的含假芪型偶氮生色团的两亲性嵌段共聚物P（HEMA-b-6CNAzo）。首先,采用ATRP引发剂引发三甲基硅保护的羟乙基甲基丙烯酸酯（HEMA—TMS）聚合,得到大分子引发剂P（HEMA—TMS）;接着进一步引发单体甲基丙烯酸6-（N_甲基苯胺基）己酯进行ATRP反应,得...     

山西农业综合信息卫星服务网钓设计与建设

采用互联网络建设技术,设计并建立了山西省农业综合信息卫星服务网主站,形成了有序、可控、易维护的管理格局,实现了政务、农产品需求交互、农业技术、自主创业、农民劳务就业以及农村科技教育等涉农信息的自动采集、处理和维护。