刻蚀条件对石英各向异性刻蚀特征的作用机理及KMC数值模拟

针对石英晶体各向异性湿法刻蚀复杂的各向异性刻蚀特性,致使刻蚀演化过程和结果难以预测和控制,利用刻蚀半球法得到了石英在多种体积比刻蚀溶液中和不同温度条件下的全晶面刻蚀速率,分析了刻蚀条件的改变对于石英刻蚀各向异性特征的影响作用,并从晶面活化能角度解释了刻蚀各向异性的成因.在形貌预测方面,通过对石英晶体x轴(电轴)和y轴(机械轴)上主要晶面原子排列和速率特征的分析,建立了以基于石英的移除概率函数(QUARTZ-RPF)方程为刻蚀依据的KMC仿真模型,实现了对不同刻蚀条件下的全晶面刻蚀速率及Z-cut切型晶片任意掩膜下刻蚀结构和表面形貌的精确模拟.     

应力流驱动的结构拓扑优化

以应力流作为结构优化的控制函数，通过建立以图形和有限元网格模型相对应的结构描述，采用删除低应力区域结构的自适应方式，实现结构的拓扑变化和几何模型生成，所提方法具有扩展性和应用价值，完成结构形式遍历，为结构优化设计作有益的尝试。     

质量控制过程的流程重构校验方法研究

通过广义随机Petri网结构等价性的分析和论证，提出质量保证过程的流程建立和重构方法。首先该方法依据ISO9000标准，在网络化制造企业间构造无差错的开放质量活动流程，然后根据网结构等价构造方法分解到企业内部扩展私有流程。两次建模的步骤克服了递阶和集中控制需建立和校验整个流程的缺点，保持分布自治的质量控制过程在网结构特性上能满足有界性、遍历性和标记平衡，适应了网络化制造环境中需要适应性修正的动态特征需求，为网络化制造过程中质量的重构优化找到有效手段，最后通过实例说明结论的可应用性。     

蓝宝石湿法刻蚀各向异性特征的试验

针对蓝宝石晶体复杂的各向异性刻蚀特性,致使其刻蚀演化过程和结果难以预测和控制等问题,利用刻蚀半球法,获得了蓝宝石晶体在温度为(245±3)℃,体积比为V(98%H_2SO_4)∶V(85%H_3PO_4)=3∶1的混合浓酸溶液中刻蚀的全晶面刻蚀速率.对比分析了典型掩膜形状下的刻蚀微结构特征,探寻了速率各向异性特征与微结构刻蚀成型结构面之间的联系.结果表明:蓝宝石全晶面刻蚀速率呈现典型3次对称和多极值分布,且赤道附近刻蚀速率极低;浓磷酸作为刻蚀缓冲剂可以显著减少刻蚀过程中各类微观凸起的产生,有效提高微结构表面加工质量.     

制造系统工作流设计的校验和性能分析方法

基于广义随机Petri网提出了对工作流的 流程和资源角色分配的转化规则。在此基础上, 得出了在虚拟企业中，重组流程、资源和角色的网模型正确性和稳定性应该具备的条件是：安全、活性和标记守恒。对制造系统重组变化性能的定量分析，可以通过对工作流转化的广义随机Petri网的稳定状态概率进行模拟计算和评价，它为敏捷化快速重组优化找到了有效的手段。最后，通过实例说明了判定和分析的一般步骤。     

网络化制造模式下的分布式ERP系统研究

从过程集成角度提出了面向网络化制造的ERP系统的组成原理和具有开放性、动态性及分布式群组规划特征的系统总体结构,确定了系统符合动态联盟企业分布、自治、协同特点的控制模式,包括分散系统控制模式和驱动式过程控制模式.在此基础上,进一步给出了系统的逻辑体系结构,对其中涉及的过程集成建模方法、过程性能分析方法、构件技术、工作流技术等关键技术进行了论述.最后以一个运行实例说明了原型系统的有效性.     

基于Web和现场总线的数控系统远程监控研究

提出了一种基于Web和CAN总线对数控系统进行远程监控的解决方案，分析了所采用的关键技术，包括套接字技术，ActiveX技术以及CAN总线技术，在此基础之上建立了原型系统、用户通过运行在浏览器端的虚拟控制面板－ActiveX控件即可实现向数控系统发送指令，接受数控机床的反馈信息，进而实现监视机床动作，完成零件加工的任务，为网络化制造的具体实施奠定一定的基础 ，实验证明系统基本上达到了监控远程数控机床进行工作的目的。