条形射频源大口径离子束刻蚀机性能(英文)

针对大尺寸基底往复扫描条形离子束来实现大面积刻蚀的特点,实验测试了基于射频感应耦合等离子体离子源大型离子束刻蚀机的性能.利用法拉第筒扫描探测系统在线测量束流密度,通过控制气体流量、调节加速电压等,得到了纵向束流密度±5.3%均匀性的较好结果.刻蚀实验表明40 cm长度范围刻蚀深度均匀性为±5.4%,同时具有较好的束流稳定性.添加束阑,并结合掩模修正束流,会得到更好的束流密度与刻蚀深度均匀性.     

光束线和实验站真空保护与控制系统(英文)

本文概述了合肥光源光束线的基本组成以及光束线真空联锁保护与控制系统的关键设备———超高真空快速关闭阀及其控制器,给出了光束线真空系统的保护与控制要点以及光束线真空事故的联锁保护实例,阐述了新建超导扭摆磁铁的ＸＡＦＳ光束线和实验站的真空联锁保护与控制系统的研制．     

发电机厂用电试验的分析与计算

在发电机组的性能试验中，厂用电历来是各方关注的重点，是性能试验的保证值。近年来，我们通过多个国外项目的性能试验，对厂用电系统的测量和各个系数的计算积累了若干经验，现公开与大家，以便同行们今后借鉴，进而推进性能试验的发展。     

条形射频源大口径离子束刻蚀机性能

针对大尺寸基底往复扫描条形离子束来实现大面积刻蚀的特点，实验测试了基于射频感应耦合等离子体离子源大型离子束刻蚀机的性能．利用法拉第筒扫描探测系统在线测量束流密度，通过控制气体流量、调节加速电压等，得到了纵向束流密度±5．3%均匀性的较好结果．刻蚀实验表明40cm长度范围刻蚀深度均匀性为±5．4%，同时具有较好的束流稳定性．添加束阑，并结合掩模修正束流，会得到更好的束流密度与刻蚀深度均匀性．