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微纳尺度的微结构可调制光场,提高传感器的灵敏度,是新一代功能器件或传感器件中广泛使用的重要结构特征。包含微细加工在内的先进制造技术的快速发展,对多种型式微纳尺度微结构的无损测量技术提出了紧迫的需求。本文从多维视角论述了国内外行业发展中出现的微结构种类、型式,围绕具有高精度无损检测特质的光学显微技术,阐述了国内外仍在继续发展的微结构无损检测四种主流方法,分析了这些方法的技术特点、适用对象,给出了典型样品的检测结果,其中部分结果是首次发表。结果表明,暗场显微机器视觉法,是振幅型颗粒、凹坑、划痕等有害微结构的有效检测方法,可以实现大尺度样品的快速检测;共焦显微成像和低相干显微干涉法是“相位”型微结构的最佳检测方法,可以得到微结构的三维形貌;光谱反演-过焦扫描法与近红外显微干涉法,是应高深宽比微结构无损检测需求而发展起来的新方法,前者可以快速测得线宽和深度,后者可以测得物镜视场范围内高深宽比微结构的三维形貌,二者可以相互验证与补充。 相似文献
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应用Green函数对Laplace方程进行求解,得到了积分形式的解,并在对求出的解进行了具体的运用,同时也对该解进行总结分析推广到n维情况. 相似文献
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埋嵌型纳米颗粒在生长的过程中会受到周围基质材料对其施加的应力作用,应力的大小不仅会对纳米颗粒的晶格结构和物理性能产生影响,还与纳米颗粒的尺寸大小息息相关.因此,研究埋嵌在不同薄膜材料中的纳米颗粒生长过程中的应变场分布对于调控纳米颗粒的物理性能有着重要的意义.该文利用脉冲激光沉积和快速退火技术成功地制备了分别镶嵌在非晶氧化铝薄膜、非晶氧化镥薄膜和非晶二氧化硅薄膜中的Fe_3O_4纳米颗粒,并利用透射电子显微镜观察这些球形纳米颗粒.为了研究纳米颗粒的尺寸与应力大小之间的关系,采用有限元算法分别模拟仿真了这些纳米颗粒的应变场分布,并对结果进行了系统的分析.研究发现:Fe_3O_4纳米颗粒在不同薄膜材料生长过程中均受到非均匀偏应变作用,而且纳米颗粒的尺寸及应变场分布与纳米颗粒周围基质材料的杨氏模量和泊松比密切相关.在不同基质材料中生长的纳米颗粒所受到的应变场分布也有所不同,这为调控纳米颗粒的晶格结构和形貌以及物理性能提供了一个新思路. 相似文献
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本文论述了煤矿测量的主要任务,并重点说明井下测量工作的实施方法。测量工作是煤矿生产建设的一项重要的技术基础工作,也是煤矿企业不可缺少的重要组成部分。因此按照规定,不管是资源衰减矿井,还是新建技改矿井都要按照相关规定,进行矿井测量工作,保证煤炭资源的合理开发和利用,促进煤炭安全生产。 相似文献
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随着时代的发展,合作治理逐渐成为行政治理模式的主流,行政主体理论逐渐难以自洽。应将行政主体分为职权行政主体和职能行政主体,赋予履行行政职能的私主体职能行政主体地位。解除行政主体与行政诉讼被告之间的连带关系,公私合作被告的确认先判断私主体是否为职能性行政主体。扩大行政调解范围,摆脱公私合作背景下行政诉讼制度面临的困境。 相似文献
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基于曲率统计的LiDAR点云二次滤波方法 总被引:1,自引:0,他引:1
针对传统偏度平衡方法滤波结果中存在低矮植被、建筑物侧面墙脚等非地面点云问题,在传统偏度平衡方法的点云一次滤波算法的基础上,提出一种基于曲率统计的点云二次滤波方法。对该方法进行试验,并将试验结果与传统偏度平衡方法滤波结果进行对比分析。结果表明:基于曲率统计的点云二次滤波方法比传统偏度平衡法能够多滤除83%的植被点云、5%的建筑物点云,能够有效地滤除传统偏度平衡方法滤波结果中的低矮植被、建筑物侧面墙脚等非地面点云。 相似文献
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利用有限元法分析对生长在Au、Cu、Al2O3、SiO2、Ni这5种不同基底上的层状MoS2的应变分布进行模拟仿真.研究结果表明:基底材料的泊松比不同会使得基底和MoS2的y方向形变都不相同; 基底的杨氏模量不同会使得不同基底底部与二硫化钼(MoS2)顶部的应变差别不同.在膨胀过程中,y方向底端的拉伸应变大于中间的拉伸应变,这会导致基底与顶端应变高于中间的应变.因此,基底材料的杨氏模量和泊松比与MoS2的应变分布密切相关.根据仿真结果可得,由于MoS2在Au和SiO2基底上所受到的应变较小,导致MoS2的顶端和基底底部应变差较大,因此容易造成剥离脱落; 而在Al2O3基底上,由于基底材料具有较高的杨氏模量,且与MoS2比较接近,所以MoS2顶端和基底底部呈现的应变差接近.由此可见,在这些材料当中,Al2O3更适合作为MoS2的基底材料.通过研究基底材料的应变场分布,能更好地对纳米材料进行调控,从而改善器件的相关性能. 相似文献
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数字经济通过技术创新推动经济社会能源生产率变革,逐渐成为提升黄河流域高质量发展的新动力、新引擎.基于此,构建数字经济发展、能源生产率影响高质量发展的理论模型,并以黄河流域2013-2019年的省级面板数据为样本,通过面板计量模型、中介效应模型以及门槛效应模型等实证模型考察数字经济发展对黄河流域高质量发展的影响.研究显示,数字经济发展具有推动黄河流域高质量发展和提高能源生产率的双重效应;能源生产率在数字经济发展推动黄河流域高质量发展的过程中具有显著的渠道效应;数字经济发展对黄河流域高质量发展的影响存在“边际效应”非线性递增的特点,且在区域位置、人口规模等方面具有异质特征. 相似文献
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