排序方式： 共有1条查询结果，搜索用时 0 毫秒
1
1.
用熔融缩聚法含成的聚酯型光刻胶有较宽的分子量分布.为了获得较好的抗蚀性,需要提高样品的分子量.但此时常因增加了分子量的分布宽度而影响了样品的分辨率.用溶解一分级沉淀的方法对样品进行处理,除去样品中的高分子量和低分子量部份,所得到的中间级分的分辨率比原样品有明显提高.若仅将样品除去小分子量部份,对光敏性和抗蚀性亦有明显提高.文中还讨论了分级后样品分辨率提高的原因. 相似文献
1