高衬底温度下溅射淀积二硅化钛膜

我们在室温和600℃下用复合的二硅化钛靶在〈111〉向的裸硅片上溅射淀积了二硅化铁膜。室温下淀积的二硅化钛膜需要在900℃下进行烧结,以使其电阻率降低。而600℃下淀积的二硅化钛膜已经反应充分形成颗粒较大的没有氧沾污的多晶状,而且该膜抗氧化。将该膜在900℃下进行进一步退火,发现其晶体结构、成分、电阻率即晶粒大小没有变化。     

纪念声表面波器件的奠基人——英国物理学家瑞利发现瑞利波100周年声表面波器件的最新进展(二)

四、带通滤波器由本文第二部分可知,SAW带通滤波器设计的主要问题是推导合适的脉冲函数h(t),h(t)通过傅里叶变换与滤波器频率响应H(f)联系起来.通常,h(t)为无限值,所以必须对它截断,带通滤波器的实现.有限脉冲响应函数(其傅里叶变换给所需的“理想”频率响应以最佳近似值)的推导过程曾经是七十年代的主要研究课题.根据研究,几种非常有用的计算机辅助设计程序在目前已普遍采     

用于VLSI的注入氮化物特性

本文描述了在VLSI研制中通过氮注入形成氮化硅层。在形成各种氮化物层的过程中,注入分子氮能量范围为5到60keV,随后在1000℃的氮中退火。描述在炉中退火前后所形成的氮化物层特性,在不同的IR、SIMS和椭圆对称测量情况中找出局部氧化掩模的有效注入条件。相对于整个注入能量范围,注入氮的最初IR峰值为815cm~(-1)。对于退火后的高能量注入来说该位置会漂移到一个较高的波长数,低能量注入峰值接近于830cm~(-1),上述均与LPCVD为氧化物峰值相比而言。此研究结果认为,低能氧化物的化学成分几乎是可用定量计算的。退火过程中浓度分布向着表面漂移,并将增高峰值区氧的浓度。从氮化物分布剖面看最大值是在表面,而在<10keV时消失。在1000℃的蒸汽中生长5300(?)氧化层进行测试这些氮化物掩模特性。剂量为5×10~(16)N_2~+/cm~(-2)离子的氮化物在注入能量低于40keV会形成有效的氧化掩模。在此实验条件下,在10keV下所形成的氮化层可认为是一个有效的氧化掩模,足以适应选择性地腐蚀SiO_2,减小“鸟嘴”尺寸为常规LOCOS的四分之一。     

改进相干激光器阵列的热沉设计

一种有顶层(其横向尺寸与激光器阵列宽度相配)的热沉将明显改善激光器阵列的温度均匀性,便于器件锁相工作。     

用于军事和工业系统的声表面波器件

自从制成了叉指换能器以来,声表面波器件获得了很大的进展.目前,这种器件已经广泛地用于完成复杂系统的信号处理功能方面.     

双极集成电路的闭锁通道

采用各种实验技术的综合方法,发现了双极集成电路中的闭锁通道。用电压衬度扫描电子显微技术作为分析闭锁通道的内部探测。从6种器件上获得的数据表明,各种不同的通道组合和相互作用是造成闭锁的原因。     

高效液相色谱死体积的热力学定义

本文讨论了高效液相色谱死体积的定义和如何以吉布斯热力学理论为基础对其测定。推荐的热力学理论方法能应用于任何一种液相色谱方法,如正相、反相、离子交换、甚至体积排斥色谱。提出了一种能在整个浓度范围内准确计算流动相组分干扰峰死体积的方法。对某些化合物容量因子出现负值也作了解释。     

对舰船电子战认识的提高

电子学在战争中的广泛而深入的应用几乎给其他一切导航、部队联络、通信、数据处理,威胁的侦察、定位和目标指示等手段罩上了一层阴影。电子技术和信息技术的蓬勃发展使指挥、控制和通信(C~3)手段成为可能。处理这些由新的探测器、导航系统、数据链来的微弱信息的能力正在得到迅速的提高。     

Color quantitation through image processing in dermatology

Classical color models and their applications to computer vision are reviewed. The performances of color quantitation from digitized images are compared with those derived from a chromameter. The color quantitation obtained from either digitized color slides or directly digitized images is proved to be more efficient than the conventional visual assessment of observers. A methodology is proposed for determining the specific color indices which are needed in dermatology. An application of this methodology is developed for designing a blanching quantitation index in order to replace the visual assessment during McKenzie tests.