用于LDD和SST的SiO2边墙干法腐蚀工艺研究

本文从干法腐蚀角度出发,首先从数学上分析了多晶硅角度,SiO_2边墙的宽度和高度,衬底损失与各工艺参数间的关系,指出边墙的宽度和高度分别取决于多晶硅的角度和过腐蚀量。在Tegal1512e设备上,采用Cl_2、SF_6、N_2混合气体,开发了多晶硅干法腐蚀工艺,讨论了LDD的正胶掩膜及SST的SiO_2掩膜对工艺的不同影响。SEM分析发现了SF_6气体腐蚀的各向同性。在Tegal903e设备上,采用CHF_3、SF_6、He混合气体,开发了SiO_2边墙干法腐蚀工艺,研究了腐蚀的各向异性,辐射损伤,选择比,均匀性及重复性的控制方法。取得的工艺结果为,腐蚀速率(?)_(sio_2)≈400nm/min,均匀性U≤±5％,选择比S_(f8)>10,工序能力指数C_p>1。     

木质手机

什么是时尚豪华手机？尽管Vertu已经给出答案，甚至连诺基亚（NOKIA）都忍不住联手范思哲（Versace）一偿夙愿，但觊觎这一市场的厂商还远远不止前两位。Bonac Innovation公司成立于2004年，迄今虽只推出过两款产品，却都是瞄准的这一市场。不同于其他豪华手机的穿金戴银，Mobiado Professional Executive Model手机显得更为质朴内敛——取材自名贵珍稀的洪都拉斯红木或者热带美洲黄檀木虽不及金银耀眼，却在价值上远胜于后者。性能方面它也不落俗套，使用与诺基亚8800完全相同的界面，     

深硅槽开挖工艺

本文介绍了硅槽应用,即硅槽隔离和硅槽电容,对器件性能的改善。并介绍了硅槽隔离和硅槽电容的形成步骤及硅槽刻蚀剖面的形貌控制,CBrF_3刻蚀硅槽侧壁保护层的形成等等。     

我国军用微电路的质量认证

本文介绍了军用元器件质量认证和特殊质量认证程序的异同点,重点阐述我国微电路在贯彻国军标基础上的质量认证。     

利用MAXⅡ器件实现的FPGA设计安全性解决方案

简介基于SRAM的FPGA是非易失性器件。它们需要外部存储器来在加电时存储发送给它们的配置数据。发射过程中,可以采集配置比特流,并用其来配置其它FPGA。这类知识产权盗窃可能会让设计者遭受收入损失。     

无传感器无刷直流电机(永磁同步电机)驱动的动态性能

本文主要阐述在梯形波和正弦波下无传感器换向的动态过程。以前各类无传感器换向只运用于矢量驱动和步进电机。处理需要实时进行,而目前高速无传感器换矢量运算还无法实现。霍尔器件和编码器被用作主要的换向指示器。它们具有梯形波和正弦波的换向能力,但是利用编码器的正弦波换向需要相应的算法控制才能够让电极在一定的高速情况下正常运行。如今,超过100Mps(直线编码)、带有高速MOSFET、IGBT和智能能量模块的微处理器以及DSP控制已经将直流无刷电机(永磁同步电机)驱动提到了一个新的高度。无传感器换向算法在低电感高速电机中已经应用。应用梯形波或者正弦波的无传感器换向技术现在也已经非常普遍。尽管梯形波换向现在仍然是主要方法,但是正弦波换向技术发展也很快,预计不久就会成为主要的换向方式。     

5490km Ultra Long Haul WDM System

1IntroductionSinceexperimentof160opticalchannelstransmit-tedinasinglefiberwasfulfilledbyLucentin2000,anewtechnologycompetitionhasbeenraisedamongopti-caltelecommunicationequipmentproducers.Uptonow,equipmentssupportingmorethanonehundredopticalchannelsinasin…     

Quasi-variational principles of single flexible body dynamics and their applications

The reasons for studying single flexible body dynamics are that on one hand, it is the basis of flexible multi-body dynamics. If the theory of the single flexible body dynamics has been deeply studied, the theory of flexible multi-body dynamics will be researched easily. On the other hand, it has its unique and important applications. Quasi-variational principle of non-conservative single flexible body dynamics is established under the cross-link of particle rigid body mechanics and deformable body mechanics. Taking the interceptor as an example, this paper has explained the physical meaning of the quasi-stationary value condition of the quasi-variational principle in non-conservative single flexible body dynamics. Taking the launch of rocket as an example, it has illustrated the features of “one force for two effects” in a single flexible body dynamics. With an example of the extending flexible beam coupled with the spacecraft attitude, it has shown the transition from the single flexible body dynamics to the flexible multi-body dynamics. Finally, a number of related problems are discussed. Supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant No. 10272034), the Doctoral Education Foundation (Grant No. 20060217020), and the Natural Science Foundation of Harbin Engineering University (Grant No. HEUF04003)     

EDGE Phase 2核心技术：GERAN

本文介绍了ＥＤＧＥ（Ｅｎｈａｎｃｅｄ Ｄａｔａ ｒａｔｅ ｆｏｒ ＧＳＭ Ｅｖｏｌｕｔｉｏｎ）在第二阶段的无线接入网ＧＥＲＡＮ（ＧＳＭ／ＥＤＧＥ Ｒａｄｉｏ Ａｃｃｅｓｓ Ｎｅｔｗｏｒｋ）的技术标准、业务功能等，并总结出与目前ＧＳＭ网络结构兼容的ＥＤＧＥ Ｐｈａｓｅ ２网络结构布局。     

基于ARM的用户可定制SoC

面对当今竞争激励的市场,嵌入式系统设计人员不得不重新审视其设计和开发过程。系统越来越复杂,性能、功耗和空间限制也越来越大,传统的方法已经达到了极限。同时,不断变化的标准、新出现的市场和发展趋势都要求设计过程非常灵活,能够积极应对这些变化。设计人员不仅需要开发更复杂的系统,而且还要能够迅速实现新的或者衍生设计。