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在微波测试仪器中,频谱分析仪是最通用的设备,既可测量频率和功率,亦可测量噪声和调制特性,深受研发、生产和维护人员的欢迎。Agilent公司(包括原来的HP公司)的频谱分析仪一直处于业界领先,1964年推出以反波管作为本振源的8551/851A频谱分析仪,频率范围达到2GHz,每月销售近百台,成为每月销售额超过百万美元的第一种产品。 相似文献
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TEOS—O3常压CVD膜形成技术 总被引:1,自引:0,他引:1
一、前言随着器件的高集成化,绝缘膜平坦化便成了更为重要的课题。因此,人们正广泛讨论替代原来SiH4-O2常压CVD法的TEOS-O3常压CVD法。其主要原因是TEOS-O3常压CVD膜具有极其良好的台阶覆盖性。尽管如此,TEOS-O3常压CVD膜在特性上尚有诸多探讨之处。本文就TEOS-O3常压CVD股特性,以我们所掌握的数据资料为基础加以论述。二、关于NSG膜NSG膜具有自平坦性。这一点是TEOS-O3常压CVD成膜技术的最大特点。为此,用简单的工艺便可获得平坦的绝缘膜。同时,它是代表今后CVD工艺方向的新技术。1.含杂质问题采用TE… 相似文献
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