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纳米科学技术将成为21世纪最重要的高技术之一。纳米技术的最终目标是直接操纵单个原子和分子,制造量子功能器件,从而开拓人类崭新的生产生活模式。文章评述利用电子束、离子束的精细技术和STM原子操纵技术的研究现状,介绍原子层蚀刻,单层抗蚀剂自形成蚀刻,纳米自然蚀刻和电子束全息纳米蚀刻等高技术前沿动态,展望纳米技术的发展前景。 相似文献
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纳米蚀刻技术及其在20GHz频段SAW器件中的应用阎永志利用纳米蚀刻技术可将图形做得非常精细(um级),将在ULSI、高速FET、分布反馈式激光器和GHz频段SAW器件等领域获得应用。常规蚀刻过程中,抗蚀膜层必须有一定厚度,但较厚的抗蚀膜无法获得纳米... 相似文献
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利用TPD(或TP)-IR动态方法,详细研究了由Rh_4(CO)_(12)衍生的Rh_4/Al_2O_3上金属分散度、CO覆盖和表面碳对CO吸附类型的影响。结果表明,影响CO在Rh_4/Al_2O_3上的吸附类型的主要因素是Rh的分散度,而分散度可以通过适当的制备方法加以控制。CO覆盖度只影响孪生CO谱带的强度;但同时影响线式和桥式CO谱带的位置和强度。在260℃以上,CO解离所产生的表面碳可以完全覆盖Rh~I中心,导致孪生CO谱带消失;对丁线式和桥式中心,只是部分被表面碳覆盖,导致线式样和桥式CO谱带位移到低频。 相似文献
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CR39光学树脂及其制品 总被引:2,自引:0,他引:2
本文介绍CR39光学树脂及制成的镜片的特性。简要说明镜片的浇铸工艺和模具的结构,对开发镜片的新品种提出了建议。一、概述 CR39是一种光学树脂的商品牌号,是美国PPG公司哥伦比亚化学实验室研制成的。我国太原化工厂与西安朝阳仪器厂合作,于1982年亦研制成这种材料,其化学名称为烯丙基二甘醇碳酸酯,又名二甘醇双(丙烯基碳酸酯)。其化学式为 (CH_2=CHCH_2OCOOCH_2CH_2)_2O 相似文献
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